五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)技術(shù)內(nèi)容

測(cè)試項(xiàng)目包括微粒更加完善、氧氣含量、水份建設應用、氦氣測(cè)漏與壓力測(cè)試支撐作用。

注：1、管路微粒動力、水氧等測(cè)試前須先銜接廠務(wù)端接點(diǎn)后同時，以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進(jìn)行測(cè)試，如N2（C）純度不夠無法滿足要求生產效率，廠商需自配純化器產能提升。

2、施工purge及保壓節點、微粒通過活化、水份測(cè)試等限定使用N2

一、管線測(cè)試規(guī)范如下：

1.管路持壓測(cè)試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧6小時(shí)； Special-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧24小時(shí) (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙)健康發展；合格標(biāo)準(zhǔn)：氣體保壓測(cè)試初始?jí)毫?.5~8.5 kg/cm2有效保障，持壓后△P≦1%初始?jí)毫?/span>

2.管路微粒測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進(jìn)行微粒測(cè)試，并須檢附Particle Counter紀(jì)錄紙長效機製；合格標(biāo)準(zhǔn)：每10分鐘測(cè)1點(diǎn)講實踐，連續(xù)測(cè)3次，Purified-gas奮戰不懈、Special gas粒徑≦0.1μm市場開拓，顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas（含H2、不含NG）氣體管路須進(jìn)行水份大大縮短、氧分析測(cè)試要落實好，并須檢附水份、氧分析儀紀(jì)錄紙更默契了；合格標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)試時(shí)間30分鐘組織了，D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb說服力，允許實(shí)測(cè)讀值應(yīng)小于6ppb

4.管路氦測(cè)漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2搶抓機遇、不含NG）氣體管路須進(jìn)行氦測(cè)漏測(cè)試，并須檢附氦測(cè)漏機(jī)紀(jì)錄紙表示；合格標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)試時(shí)間30分鐘全面闡釋，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.測(cè)試要求：

所有測(cè)試按接機(jī)點(diǎn)計(jì)算，必須保證所有管路均有測(cè)試拓展基地，必須將所有管路末端單一逐一測(cè)試集中展示，或者末端串聯(lián)測(cè)試，保證管路都經(jīng)過儀器檢測(cè)體系流動性，測(cè)試高純氣體與特殊氣體分開測(cè)試探索創新。