五項測試檢測技術(shù)內(nèi)容

測試項目包括微粒充分發揮、氧氣含量選擇適用、水份、氦氣測漏與壓力測試的特性。

注：1交流、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務端接點后提供堅實支撐，以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進行測試還不大，如N2（C）純度不夠無法滿足要求，廠商需自配純化器信息化技術。

2發揮作用、施工purge及保壓、微粒逐步顯現、水份測試等限定使用N2

一銘記囑托、管線測試規(guī)范如下：

1.管路持壓測試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時； Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙)自動化裝置；合格標準：氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2示範，持壓后△P≦1%初始壓力

2.管路微粒測試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進行微粒測試應用前景，并須檢附Particle Counter紀錄紙；合格標準：每10分鐘測1點運行好，連續(xù)測3次首次，Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm部署安排，顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析測試

Purified-gas 及 Special-gas（含H2搖籃、不含NG）氣體管路須進行水份、氧分析測試生產能力，并須檢附水份標準、氧分析儀紀錄紙；合格標準：測試時間30分鐘堅持好，D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb即將展開。水份分析儀誤差range為±4ppb，允許實測讀值應小于6ppb

4.管路氦測漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2問題分析、不含NG）氣體管路須進行氦測漏測試培養，并須檢附氦測漏機紀錄紙交流研討；合格標準：測試時間30分鐘更加完善，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.測試要求：

所有測試按接機點計算，必須保證所有管路均有測試建設應用，必須將所有管路末端單一逐一測試支撐作用，或者末端串聯(lián)測試，保證管路都經(jīng)過儀器檢測動力，測試高純氣體與特殊氣體分開測試同時。