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Pura高純氣露點(diǎn)變送器 在線露點(diǎn)儀

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簡單介紹: 在很多純氣應(yīng)用高效,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中應用創新,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來機構,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn)的特性,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的攜手共進、經(jīng)濟(jì)的共同、相當(dāng)有效的方案,用來在線測量露點(diǎn)值經過,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)簡單化。Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程明確了方向,打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和純氣體應(yīng)用的位變送器系統性。

詳細(xì)信息 在線詢價

Pura高純氣露點(diǎn)變送器 在線露點(diǎn)儀

技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
壓力 低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC 低10 V ~ 高28 V 大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出 對應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限
機(jī)械性能
傳感器套筒 不銹鋼 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7 7mm 深的安裝孔 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套用以運(yùn)輸及操作


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