測量

范圍

Z軸

（垂直）

160μm

X軸

（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測量

項目

參數(shù)

RaRz==Ry(JIS)RqRt==Rmax

RpRvR3zR3yRz(JIS)

RsRskRkuRsmRmr

標(biāo)準(zhǔn)

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓互動講，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln=lr×nn=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動感

觸針

天然金剛石穩定性，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金過程中，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,Vt=0.135mm/s

lr=0.8,Vt=0.5mm/s

lr=2. 5,Vt=1mm/s

返回Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

源

內(nèi)置鋰離子充池去突破，用DC5V,800mA充器充

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：-20℃~40℃

濕度：<90% RH

儲存運(yùn)輸環(huán)境

溫度：-40℃~60℃

濕度：<90% RH

Ra,Rq

0.005μm~16μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm~160μm

Sk

0~99%

S,Sm

1mm

tp

0 ~ 99%