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通常的被動減振體系如圖所示更高要求,由需要減振的裝置(massM)和一個彈簧阻尼單元組成越來越重要的位置,它可以減小來自地板的高頻振動

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       通常的被動減振體系如圖所示,由需要減振的裝置(mass M)和一個彈簧阻尼單元組成學習,它可以 減小來自地板的高頻振動結構重塑。但由于這種體系會在 本征頻率時引起共振而增加振動,通常被動減振 體系會設(shè)計(jì)成 2 Hz 到 5 Hz 的本征頻率和 1%到 5%的輕微阻尼應用優勢。主動減振體系是用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器高質量發展,根據(jù) sky-hook 阻尼控制理 論,將減振裝置(mass M)速度的比例量作 為反饋?zhàn)饔糜跍p振裝置緊密相關,這樣大大提高了減振的效果更默契了。

 

 

       較主動隔振系統(tǒng)采用的慣性振動傳感器、的控制算法和較的壓電致動器培訓,通過連續(xù)測量地面活動不合理波動,然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運(yùn)動,以實(shí)時消除振動重要工具。
       較初設(shè)計(jì)用于隔離半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻積極拓展新的領域、計(jì)量和檢測設(shè)備配套設備,現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室相對開放、納米技術(shù)研究推進高水平、納米制造設(shè)施和材料研究中心)中較敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

       通用應(yīng)用領(lǐng)域:
       掃描探針顯微技術(shù) 拓展應用, 納米力學(xué)探針 生產創效, 掃描電子顯微技術(shù) ,共聚焦顯微術(shù) 管理,較高真空掃描隧道顯微術(shù)優化上下,  激光掃描顯微鏡 ,液晶生產(chǎn)設(shè)備 模樣,半導(dǎo)體檢測儀器 生產體系,膜片鉗 (Patch-Clamp)技術(shù) ,光學(xué)輪廓儀 提供了遵循,生命科學(xué)顯示平臺 參與水平,顯微硬度檢測儀大型,光學(xué)干涉儀 服務效率,超微量天平等等

 

 

 


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