激光燒蝕進樣是80 年代末、90 年代初形成的一種新型的固體分析技術(shù)積極性。當(dāng)聚集的激光束以足夠的能量耦合在樣品表面時,樣品表面的物質(zhì)被熔融奮勇向前、濺射和蒸發(fā), 形成的樣品蒸氣與細微顆粒由載氣傳輸至等離子體中被原子化、離子化約定管轄，為質(zhì)譜數據、光譜等儀器提供一種新型的固體進樣方式。

激光燒蝕進樣是80 年代末發揮、90 年代初形成的一種新型的固體分析技術(shù)顯著。當(dāng)聚集的激光束以足夠的能量耦合在樣品表面時,樣品表面的物質(zhì)被熔融、濺射和蒸發(fā), 形成的樣品蒸氣與細微顆粒由載氣傳輸至等離子體中被原子化開放以來、離子化占，為質(zhì)譜高質量、光譜等儀器提供一種新型的固體進樣方式。

儀器特點：

激光燒蝕原位進樣系統(tǒng)具有原位激發創作、實時前景、快速的分析優(yōu)勢和靈敏度高、空間分辨率<10um的特點增幅最大，對樣品微區(qū)分析共享應用、材料表面的元素分布分析、薄膜或鍍層的深度分析等方面都具有獨特的優(yōu)勢最新；固體樣品不需分解技術創新，可以直接測定，避免了樣品前處理過程中引入的污染和難溶樣品溶解困難的問題重要作用。

儀器參數(shù)：

一.激光光源及光路系統(tǒng)
?   激光器類型：燈泵浦的固體調(diào)Q激光器
?   波長：213nm
?   頻率：（1持續向好、2、5充足、10）Hz進展情況，可調(diào)
?   輸出能量：>=9mJ@213nm
?   光斑大小：4μm~110μm,12個光斑尺寸可調(diào)綠色化發展，計算機控制

二.樣品控制掃描系統(tǒng)
?   二維電機行程：85mm*85mm
?   定位分辨率：1μm
?   定位精度：5μm
?   重復(fù)定位精度：3μm

三．樣品載帶及氣路控制
?   樣品倉：密閉腔室
?   氣路控制：計算機控制至關重要，電磁閥切換
?   流量控制：MFC計算機控制

四.樣品成像系統(tǒng)
?   視場范圍：0.65*0.53mm
?   放大倍數(shù)：10×
?   分辨率：1280x1024