產品特點：

● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度;

● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置可能性更大，確保工作臺回程誤差在2um以內;

● 采用高精度儀器光學尺配合精密工作臺，確保機臺精度在≤2.5+L/200um以內;

● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數字相機搖籃，確保畫質清晰無畸變;

● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源技術，以及內置智能燈光調節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度;

● 功能強大的iMeasuring2.1影像測量軟件推動，提升品質管控到新的臺階;

● 可選進口接觸式探針和三維測量軟件相對較高，輕松將機臺升級成為接觸式三次元測量機;

● 可選FexQMS測量數據分析及和實時監(jiān)控軟件，提升制程控制信息、降低物料耗損相關。