產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機(jī)臺(tái)擁有的高穩(wěn)定性和精確度應用擴展；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動(dòng)鎖緊裝置體驗區，確保工作臺(tái)回程誤差在2um以內(nèi)；
● 采用高精度儀器光學(xué)尺配合精密工作臺(tái)活動上，確保機(jī)臺(tái)精度在≤2.5+L/200um以內(nèi)有望；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機(jī)，確保畫質(zhì)清晰無畸變導向作用；
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源方案，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊應用的選擇，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
● 功能強(qiáng)大的iMeasuring2.1影像測(cè)量軟件左右，提升品質(zhì)管控到新的臺(tái)階大幅增加；
● 可選進(jìn)口接觸式探針和三維測(cè)量軟件，輕松將機(jī)臺(tái)升級(jí)成為接觸式三次元測(cè)量機(jī)傳承；
● 可選FexQMS測(cè)量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件，提升制程控制建言直達、降低物料耗損多種。