采用的Ｘ射線集束毛細管透鏡近年來，X射線只照射樣品的50μmφ微小領域講道理，從而達到高靈敏度、高精度分析技術先進！

μEDX大幅度地提高了傳統(tǒng)的X射線熒光光譜儀無法完成的微小領域分析的靈敏度更多的合作機會。配備新開發(fā)的X射線集束毛細管透鏡，實現(xiàn)了最小分析直徑達50μm的微區(qū)測定認為，適合半導體/電子部件/食品領域等高靈敏度服務好、高分辨率分析。

• 采用島津的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細管透鏡]反應能力，X射線只照射樣品的50μmφ微小領域共謀發展，實現(xiàn)高靈敏度、高精度分析有所提升。
• 可以在大氣中進行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300聽得進；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
• 配備雙CCD(高倍率,低倍率)攝像頭先進水平，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置便利性，進行分析。
• 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數(shù)（BG-FP）法深刻認識。
• 作為微區(qū)Ｘ射線熒光光譜分析裝置核心技術，在世界上配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動交換機構，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線主動性，提高信噪比創造性。
• 配備多元素同時/自動掃描成圖功能。采用高速掃描成圖道路，在短時間內(nèi)便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)規模設備。追加透射觀察單元(選購)，也可進行透射Ｘ射線的同時測定指導。
• 配備電子冷卻式高計數(shù)率檢測器競爭力。無需液氮，可進行高精度分析進一步完善。
  (μEDX-1400)
• 可輕松地進行電子材料/部件的鍍層膜厚測定集聚、異物檢測、失效解析及成圖分析調整推進。