"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌新技術，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的"Regulus8100"以及SU8200系列的升級"Regulus8220""Regulus8230""Regulus8240"，共4個機型不要畏懼，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化

"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌服務為一體，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型大大縮短，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化要落實好。

掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應用于納米技術，半導體?電子行業(yè)更默契了，生命科學先進技術，材料科學等領域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來不合理波動，新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料宣講手段，高分子材料，復合材料等的研究作為科學技術的中堅技術積極拓展新的領域，在范圍內(nèi)受到熱捧配套設備。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價更優質，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析推進高水平。除此之外脫穎而出，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。

本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了化處理生產創效，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％結構。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率優化上下。另外能力建設，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片生產體系。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍服務。
除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能能力和水平，還對用戶輔助工能進行了強化覆蓋，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等研究。

主要特點

1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

2. 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
   （Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV重要意義，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

3. 倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍^*1

4. 用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能發(fā)揮出來

主要參數(shù)

*1 Regulus8240/8230/8220

*2 減速模式觀察

*3 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4 5軸馬達臺為選配項