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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 日立集團(tuán)
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2023/2/16 9:44:13
  • 訪問次數(shù) 140

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集優(yōu)異性能大數據、操作簡便性長效機製、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能空間廣闊，可高效發(fā)揮其高性能營造一處。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

集優(yōu)異性能取得顯著成效、操作簡便性新模式、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能不容忽視，可高效發(fā)揮其高性能組織了。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察說服力。

  • 特點(diǎn)

  • ①多功能超大樣品倉

  • ②各種自動化功能

  • ③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

  • ④觀察分子案例

  • ⑤應(yīng)用圖例

  • 規(guī)格

特點(diǎn)

特徴

①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉搶抓機遇，可應(yīng)對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

  • 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
  • 選配樣品交換倉表示，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品全面闡釋，大大提高了工作效率
  • 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
  • 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動競爭力所在。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

  • 與GUI聯(lián)合引人註目，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
  • 覆蓋整個可觀察區(qū)域
  • 支持360度旋轉(zhuǎn)

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化溝通機製。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

  • 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后好宣講，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
  • 提高了自動聚焦精度
  • 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator領先水平，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

  • 搭載高靈敏度UVD*新產品，支持CL觀察
  • 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉橋梁作用，可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件

①多功能超大樣品倉

①標(biāo)配多功能超大樣品倉長遠所需，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

  • 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
    GUI上顯示更換樣品的操作步驟讓人糾結∫幠?？梢员苊庖蛉藶榈恼`操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品基石之一，也能夠輕松更換聯動。
  • 樣品交換倉*
    選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品共同努力，大大提高了工作效率
  • 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
    SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式行業內卷，開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷新的動力，自由移動樣品臺的過程中。
    ※選擇樣品臺自由模式時，請同時選配紅外CCD探測器廣泛關註。
  • 紅外CCD探測器*促進進步，提高了樣品臺移動的安全性
    紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機(jī)，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況迎來新的篇章。為了獲得更詳細(xì)的位置共創美好，放大CCD圖像，并且移動觀察位置薄弱點。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

  • 與GUI聯(lián)合結構重塑，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
    與GUI聯(lián)合的SEM MAP非常激烈，正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī)應用的選擇，才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*知識和技能。在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置，可以順利地移動到任意位置上約定管轄。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像數據，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像發揮。

    *配件
  • 覆蓋整個可觀察區(qū)域
    相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察顯著。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動開放以來，移動到大型樣品的觀察區(qū)域占。
  • 支持360度旋轉(zhuǎn)
    SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀察高度差大的樣品時提供了有力支撐，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置激發創作，避免陰影效應(yīng)造成的影響。

②各種自動化功能

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化進一步意見，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化增幅最大。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI，簡單操作生產能力，如同觸屏般直觀標準。

  • 從移動樣品臺到樣品觀察，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)
  • 也可觸屏操作
  • 主窗口為1280x960像素的大窗口
  • 可以切換顯示模式處理方法，并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

■各種自動化功能

  • 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后重要作用，等待時間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
    樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像習慣，隨后可立即獲得樣品圖像充足。高度自動化功能采用全新設(shè)計(jì)的演算程序，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時的積極性，等待時間縮短到以往的1/ 3以下綠色化發展。
  • 采用了新的算法，提高了自動聚焦精度
    　全新升級的自動聚焦調(diào)整功能十大行動，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品左右，也能夠輕松得到良好的圖像。
  • 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
    自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)綜合措施，自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)可靠保障。
    搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
    通過該功能設計標準，使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)開展。

■Multi Zigzag*，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野發揮重要帶動作用∫庀?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像文化價值，創(chuàng)建大視野圖像形式。

*配件

  • Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
    在Report Creator中不斷完善，可以將SEM圖像數字化，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機(jī)圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合，生成報告基礎上。創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式各領域。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。

③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

  • 搭載高靈敏度UVD*保持競爭優勢，支持CL觀察
    SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD進行培訓。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光長效機製，來獲取CL信息法治力量。
  • 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像改造層面。

通過采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)紮實，對每個單元進(jìn)行計(jì)算，無需傾斜樣品新體系，即可獲得成分圖像投入力度、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計(jì)十分精巧不難發現，且靈敏度高貢獻法治，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。

■配備了多功能超大樣品倉發展需要，可以搭載多種配件

　 SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉攻堅克難，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能顯示，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定雙向互動、條件設(shè)置效率和安、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制品牌，可以提高測試效率深入開展，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析等形式，生成三維圖像技術的開發。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度飛躍、線粗糙度）測量更高效。可一次性接收四個不同方向的信號重要部署，因此具體而言，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI智慧與合力，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro發展契機。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件促進進步。

④觀察分子案例

礦物的觀察分析案列

顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果發力。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域迎來新的篇章。

⑤應(yīng)用圖例

應(yīng)用圖例

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

規(guī)格

ITEMSU3800SU3900
二級電子分解能 3.0nm（加速電壓30kV共創美好、WD=5mm、高真空模式）
15.0nm（加速電壓1kV蓬勃發展、WD=5mm特點、高真空模式）
背散射電子分解能 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm重要性、低真空模式）
倍率 ×5～×300,000（照片倍率*1）
×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓 0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定 6～650 Pa
圖像位移 ±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸 200mm直徑 300mm直徑
樣品臺X 0～100mm 0～150mm
Y 0～50mm 0～150mm
Z 5～65mm 5～85mm
R 360°連續(xù)
T －20°～+90°
可觀察范圍 130mm直徑（R并用） 200mm直徑（R并用）
可觀察高度 80mm（WD=10mm） 130mm（WD=10mm）
電機(jī)驅(qū)動 5軸電機(jī)驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍 中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈 4孔可動光圈
檢測系統(tǒng) 二級電子檢測器又進了一步、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析WD WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示自動光軸調(diào)整功能 自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
自動光軸調(diào)整（實(shí)時級別對齊）
自動調(diào)整光束亮度
自動圖像調(diào)整功能 自動亮度和對比度控制（ABCC）
自動對焦控制（AFC）
自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
自動光束對準(zhǔn)（ABA）
自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦多元化服務體系、圖像質(zhì)量改善功能規劃、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量深度、文本）帶動擴大、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）開拓創新、光束標(biāo)記功能
配件 ■硬件:軌跡球持續發展、操縱桿、操作面板促進善治、壓縮機(jī)擴大、高靈敏度操作低空探測器（UVD）多樣性、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口新格局、3D捕獲明顯、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置） 能量散射X射線分析儀（EDS）最新、波長色散X射線分析儀（WDS）技術創新、
各種外部功能臺（加熱臺處理方法、冷卻臺重要作用、牽引臺）

* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。

* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸習慣。

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  • 臺式電子顯微鏡
  • TEM/SEM樣品的前處理裝置


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