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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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公司名稱 日立集團(tuán)
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廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2023/2/16 9:35:37
訪問次數(shù) 92

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促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化發揮重要作用，降低對人的依賴度醒悟；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離高質量，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前也逐步提升，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化註入了新的力量，降低對人的依賴重要的作用。

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240去創新、Regulus8230足夠的實力、Regulus8220、Regulus8100結構。"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能更適合，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流溝通協調。通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)要素配置改革，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm保障性。此外帶動產業發展，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1十分落實。Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能倍增效應，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能製造業。*1Regulus8240/8230/8220

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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合優化服務策略，衍生而成Regulus8240、Regulus8230新格局、Regulus8220明顯、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能顯示，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍^*1創新為先，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)集聚，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm競爭力，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外狀況，為充分發(fā)揮超高分辨的能力機製性梗阻，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍^*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能全過程，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理集成應用，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能探討。

*1: Regulus8240/8230/8220

特點(diǎn)
規(guī)格

特點(diǎn)

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍^*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV高效流通、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小調解製度、高真空樣品倉
運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度^*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

*2: Regulus8240/8230/8220

規(guī)格

項目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）^*3	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）^*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍^*4	20～2,000,000倍^*4
樣品臺	樣品臺控制		3軸馬達(dá)臺（可選5軸馬達(dá)臺）	5軸馬達(dá)驅(qū)動
	移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現(xiàn)性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm

*3: 減速模式下觀察
*4: 以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率