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- 公司名稱 浙江納德科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/2/14 11:10:12
- 訪問次數(shù) 579
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COWAQ S150RTL-1自動真空磁控離子濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
1.尺寸:D W 410 mm x 390 mm x 410 mm H重量:20KG
2.樣品腔室:150mm(D)×65mm(H)
3.選擇靶:57mm(D)x 0.1/0.2mm(厚度)(標(biāo)配靶:金)
4.旋轉(zhuǎn)-傾斜樣品臺: 直徑86mm不久前,靶與樣品表面濺射距離:40mm
5.真空度:1 x10-2 mbar-1 atm
6.濺射電流:10用上了、20、30綜合措施、40 mA可調(diào)
7.沉積速率:0-25nm /min
8.時間設(shè)定:0 - 300s可調(diào)
9.預(yù)設(shè)氬氣針閥可靠保障,樣品室沖洗
10.真空泵:旋片真空泵
11.真空測量:皮拉尼真空計(jì)
12.厚度測量:可選
13.氬氣純度:99.99%, 壓力設(shè)定:0.5/0.6bar, 6.0mm 真空管輸入
14.電源:230 /50HZ
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