SID4-UV紫外/【SID4-UV分析儀簡介】隨著光波波前探測技術(shù)的發(fā)展很重要，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生

SID4-UV 紫外/

【SID4-UV分析儀簡介】

隨著光波波前探測技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生覆蓋。從測量原理上可以分成兩類：一類是根據(jù)幾何光學(xué)原理異常狀況，測定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器高效，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等應用創新；另一類是基于干涉測量原理，探測波前不同部分的干涉性機構，來獲取波前信息的特性，主要有剪切波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡單基礎，抗力強(qiáng)提供堅實支撐，條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法高產。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器信息化技術，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學(xué)測量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征良好，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測逐步顯現。

【關(guān)于】

是一家專注于高分辨率傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測量技術(shù)為客戶提供全面的高性能。

 一自動化裝置、 SID4-UV波前分析儀/波前傳感器主要特點(diǎn)

• 250 x 250超高相位取樣分辨率

• 2 nm RMS高相位靈敏度

• 紫外波段波前測量的通用解決方案

                                 非準(zhǔn)直光入射                                                                                                      消色差

二示範、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應(yīng)用

• 波前像差測量

基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供具有的高分辨率的相位和強(qiáng)度測量開展攻關合作。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合製度保障，可提供完整的激光診斷：波前像差預下達、強(qiáng)度分布的有效手段、激光參數(shù)（M²、束腰尺寸和位置等）方案。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn)關鍵技術，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器深入，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測量取得了一定進展，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測大面積。

• 測量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進(jìn)行像質(zhì)評價(jià)積極參與，只需一次直接拍攝，就可以通過軟件后處理測量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))培養。如果不能自行搭建光路系統(tǒng)交流研討，也可以進(jìn)一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測量MTF等產(chǎn)品。

三形式、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應(yīng)用領(lǐng)域

紫外光學(xué)測量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| | 等離子體密度

四建設應用、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比

六日漸深入、更多參數(shù)選型