自動(dòng)化設(shè)置和操作深入交流，基于參考位置和眾多測量位置進(jìn)行編程引領作用，以*大限度地提高測試通量并*大限度地減少出錯(cuò)。雙攝像機(jī)控制臺上與臺下，更快地簡化測量設(shè)置和定位到感興趣點(diǎn)用的舒心。容易分析和數(shù)據(jù)收集，自動(dòng)執(zhí)行分析程序集聚效應，僅報(bào)告復(fù)雜樣本上所需的特征集成。

Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復(fù)性互動講。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)穩定性，具有易用的聯(lián)鎖門，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選過程中。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力去突破，其高自動(dòng)化水平可*大限度地提高測試通量。

業(yè)界*佳自動(dòng)化和分析軟件

增強(qiáng)的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能*強(qiáng)大達到、*容易使用的探針式輪廓儀智能設備。該系統(tǒng)利用 Vision64 軟件，通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)眾多的測量位點(diǎn)行業分類、3D成像和高度自定義的特征分析技術特點。Vision64軟件還能測量形狀，如曲率半徑發展邏輯。模式識(shí)別可*大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度凝聚力量。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。

****的探針技術(shù)

Dektak XTL 以 50 多年的探針式輪廓儀的專業(yè)知識(shí)和生產(chǎn)設(shè)施的應(yīng)用程序定制為基礎(chǔ)聽得進，以滿足當(dāng)今和未來嚴(yán)格的行業(yè)路線圖新的力量。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺(tái)為制造商提供了滿足嚴(yán)格計(jì)量研發(fā)要求的可靠工具。Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機(jī)提供增強(qiáng)的空間感知更多可能性。實(shí)時(shí)視頻中的點(diǎn)擊定位使操作員能夠快速將樣品移動(dòng)到正確的位置去創新，以便快速輕松地進(jìn)行測量設(shè)置和自動(dòng)化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全緊迫性、方便的訪問。

其他硬件功能包括：

• 單拱形架構(gòu)和集成振動(dòng)隔離系統(tǒng)更適合，實(shí)現(xiàn)行業(yè)*的性能
  
• 快速更換自對(duì)齊探針
• 高精度編碼 XY 樣品臺(tái)高效，實(shí)現(xiàn)更快的自動(dòng)數(shù)據(jù)收集

• N-Lite 低力，采用軟觸控技術(shù)要素配置改革，具有 1mm 測量范圍體系，可同時(shí)用于測量精密和高垂直范圍樣品。