剝離成形電子束蒸鍍設(shè)備 Lift-Off E-beam Evaporation System
對于有些金屬, 我們很難使用蝕刻 Etching 方式來完成想要的電路圖案 Circuit Pattern時, 就可以采用 Lift-Off 制程來做出想要的金屬圖案. 在此過程中, 電子束蒸發(fā)于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層與基材上, 最終在洗去犧牲層, 以得到其電路圖案.
上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, zui大直徑可達(dá) 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.
針對 Lift-Off 制程設(shè)計載臺水冷或液態(tài)氮冷卻
Lift-Off 制程步驟:
1. 準(zhǔn)備基板
2. 犧牲薄膜層的沉積
3. 對犧牲層進(jìn)行圖案化 (例如蝕刻), 以形成反向圖案
4. 沉積目標(biāo)材料
5. 洗去犧牲層以及目標(biāo)材料的表面
6. 最終圖案層：
①基材
②犧牲層
③目標(biāo)材料
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上海伯東剝離成形電子束設(shè)備配置和優(yōu)點
客制化的基板尺寸, zui大直徑可達(dá) 12寸晶圓
薄膜均勻度 小于±3％
水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝)
自動鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C)功能
腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
腔體zui高可至 650 mm
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr
選件
可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起
應(yīng)用領(lǐng)域
Lift-Off 制程
對傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來實現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來, 甚至是高熔點的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計, 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.
若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍設(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生
