南京實驗室特氣供氣系統(tǒng)設(shè)計安裝特氣供氣系統(tǒng)
半導(dǎo)體、光伏各有優勢、LED效果較好、TFT_LCD、光纖持續、科研院等行業(yè)的客戶在工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4, NH3, Cl2等等多個領域；特氣供氣系統(tǒng)就是把各種特種氣體在滿足工藝制程要求的純度、壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi)產品和服務。
南京實驗室特氣供氣系統(tǒng)設(shè)計安裝特氣供氣系統(tǒng)
半導(dǎo)體應用擴展、光伏、LED增多、TFT_LCD活動上、光纖、科研院等行業(yè)的客戶在工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4, NH3, Cl2等進一步推進；特氣供氣系統(tǒng)就是把各種特種氣體在滿足工藝制程要求的純度導向作用、壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi)。
南京實驗室特氣供氣系統(tǒng)設(shè)計安裝特氣供氣系統(tǒng)組成部分
主要部件：特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(yīng)(特氣柜創新為先、BSGS)真正做到、特氣分配(VMB)科普活動、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)強化意識、以及氣體泄漏偵測長期間、尾氣處理等主要模塊。
二現場、特氣柜/氣瓶架
用于半導(dǎo)體和LCD微電子等行業(yè)的特殊氣體輸送系統(tǒng)綠色化發展，特氣柜通常用于有毒、易燃不久前、腐蝕性氣體用上了，氣瓶架可用于惰性氣體。
☆根據(jù)客戶實際情況自行設(shè)計能力建設、量身定制關註，安全美觀、實用方便無障礙；
☆柜體采用3mm鋼板連日來，堅固防爆，觀察窗口采用安全玻璃認為；
☆PLC控制和觸摸屏操作系統，實現(xiàn)全自動鋼瓶切換操作，簡便直接重要意義；
☆可配備多路通訊端口供選擇交流等；
☆底座可加裝電子秤；
三規劃、氣體分配箱/分配盤面
適用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)特殊氣體輸送系統(tǒng)提高，分配箱多用于有毒、易燃進入當下、腐蝕性氣體紮實，分配盤面一般用于惰性氣體；
☆主要起到對特氣柜出來的氣體進(jìn)行二次分配的作用新體系；
☆分為全自動投入力度、半自動和手動控制；
☆吹掃不難發現、真空功能可選規定；
四、特氣輸送管路/二次配管
五改造層面、尾氣處理系統(tǒng)
根據(jù)需處理的氣體種類不同供給，通過合適的燃燒、水洗、吸附解決方案、化學(xué)反應(yīng)等對工藝機臺排放的有毒有害尾氣進(jìn)行無害化處理趨勢，達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。
六上高質量、氣體監(jiān)控系統(tǒng)
GMS/UMS氣體中央監(jiān)控系統(tǒng)一站式服務，通過上位機遠(yuǎn)程顯示特氣房內(nèi)BSGS/GC/CDS實時運行界面以及實時運行數(shù)據(jù), 實時顯示各個偵測器的數(shù)據(jù)以及偵測器的運行狀態(tài), 實時顯示VMB壓力值, 雙套管夾套壓力數(shù)據(jù)采集, 當(dāng)壓力超限后報警；相應(yīng)BSGS/GC/VMB的緊急切斷, 當(dāng)發(fā)生2級氣體泄漏報警后深入交流，系統(tǒng)自動根據(jù)預(yù)先設(shè)定的程序切斷BSGS/GC的主供氣閥門引領作用； 數(shù)據(jù)及報警的歸檔和打印, 重要的數(shù)據(jù)和報警都進(jìn)行歸檔，可以查看歷史數(shù)據(jù)以了解過程中的工作狀況臺上與臺下，并可以將需要的數(shù)據(jù)打印出來用的舒心。
七、特殊定制服務(wù)
對客戶儀器設(shè)備上需要的各種非標(biāo)高純潔凈系統(tǒng)提供高質(zhì)量代加工服務(wù)集聚效應。
