此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜（如金膜）或材料鍍膜競爭力，儀器性能穩(wěn)定調整推進，操作簡單方便

此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜（如金膜）或材料鍍膜，儀器性能穩(wěn)定機製性梗阻，操作簡單方便機製。采用磁控冷態(tài)濺射，基本不升溫集成應用，大限度保護樣品探討。

主要特點:

² 顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗高效流通，方便觀察操作調解製度；

² 真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

² 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確應用的因素之一，帶有刻度標(biāo)識解決；

² 真空泵抽速快，噪音低敢於監督，適合實驗室使用幅度；

² 控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠重要的作用；

² 顯示控制操作部分布局合理貢獻，位于同側(cè)，使用方便力度；

² 磁控冷態(tài)濺射明確了方向，基本不升溫，大限度保護樣品勇探新路；

技術(shù)參數(shù):

1.樣品室空間：直徑120mm×高110mm
2.Au靶為標(biāo)配單產提升，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.獨立真空控制電路設(shè)計，實現(xiàn)真空度和濺射電流方法，安全互鎖行動力，可調(diào)大電流40mA；
4.侵入式磁控低溫離子源切實把製度，可快速更換靶材保供，環(huán)繞暗區(qū)護罩；
5.使用獨立計時控制器進行部署，精準(zhǔn)計時責任，可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒，連續(xù)可調(diào)
6.自動真空泄氣功能保護好，自動排氣組建，可通過數(shù)字定時器進行控制
7.進口真空泵，抽速8.5m3/h特點，噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上不容忽視，全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥：高精度微量流量閥醒悟，精度±0.1Pa