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QMG 700 分析質(zhì)譜儀

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  • 概述
  • 規(guī)格
  • 零件號

功能

  • 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
  • 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • 極快的測量速度：0.125 ms/amu
  • MDPP < 10e-16="" mbar="">

  • 涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1極致用戶體驗、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)明確地分離

  • 超過 10 個不同的離子源和離子光學(xué)組合
  • 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
  • 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器
  • IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出
  • 采用靈活且用戶友好界面的強大軟件

典型應(yīng)用

  • 氣體排放質(zhì)譜儀
  • 終點檢測
  • 沉積材料監(jiān)控
  • 二次離子質(zhì)譜儀

規(guī)格

類型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
質(zhì)量范圍 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
傳感器長度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
桿直徑 8 mm 16 mm 8 mm
桿材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
法蘭 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
檢測器類型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
大工作壓力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
大工作壓力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
靈敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
小可檢測分壓 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分辨率（可調(diào)） 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
分壓比 < 0.5=""> < 0.5=""> < 0.5="">
工作溫度傳感器 150 °C 150 °C 150 °C
烘烤溫度 400 °C 400 °C 400 °C
工作溫度電子元件 40 °C 40 °C 40 °C
測量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
電源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 可用于質(zhì)量范圍：1-512 amu、1-1024 amu應用、1-2048 amu。                        

 QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

 

(2) QMA 410 可用于質(zhì)量范圍：1-16 amu更適合、1-128 amu使用、1-340 amu。

QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍自動化方案、聚焦離子源系統(tǒng)配置

 

零件號

QMA 430
零件號 明細(xì)
490-913 QMA 430 with Grid Ion Source
490-943 QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT


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