奧林巴斯光學測量顯微鏡
STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術，并借鑒了長達一個多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗技術發展，品質值得信賴集聚效應。

奧林巴斯光學測量顯微鏡
奧林巴斯光學測量顯微鏡

值得高度信賴的STM7測量顯微鏡——

以長達一個世紀之久的奧林巴斯技術為依托

STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術，并借鑒了長達一個多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗自主研發，品質值得信賴確定性。

• 的光學技術實現(xiàn)對極細微樣品的逼真成像。

• *的測量技術實現(xiàn)對樣品的準確測量損耗。

• 自動聚焦和聚焦導航系統(tǒng)使測量更簡單講故事、更精確。

• 全面的可追溯系統(tǒng)可以提供可靠和可信賴的測量性能穩定。

因此全面革新，多年來，奧林巴斯測量顯微鏡一直廣受用戶的青睞情況正常。

STM7通過整合光學顯微鏡和*的測量能力實現(xiàn)精確測量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能

奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統(tǒng)行業分類。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度提高鍛煉，此外發展邏輯，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量有所提升。

明場圖像 暗場圖像

微分干涉圖像 偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

為了進一步保證測量精度聽得進，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性先進水平，使測量可到達亞微米水平便利性，同時確保大程度地降低誤差。

STM7-LF FEM分析

作為高度測量的先鋒重要平臺，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術日益小型化和精密化深刻認識，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須應用提升。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射高效、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。

主動反射體系，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質可靠

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度保障性。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

STM7的陣容

每一種機型均配備0.1 μm讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng)

手動Z軸調焦機型

STM7-SF

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺

STM7-MF

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LF

配備300mm×300mm的載物臺

電動Z軸調焦機型

STM7-SFA

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺

STM7-MFA

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LFA

配備300mm×300mm的載物臺

STM7在設計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

· 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求責任製。

· 目前為止十分落實，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小規則製定。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程製造業，這樣的做法費事費時，效率不高堅定不移。

· 由于可測量的范圍窄組合運用，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量迎難而上。

STM7解決方案

· 共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)積極。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品堅持先行。

· 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調和微調之間實現(xiàn)快速切換產業。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動情況較常見，并且可以在XY平面上自由穿梭可持續。

· 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量體製，比如300 mm的晶圓和印刷電路板構建。

STM7-CS50(50mm x 50mm) STM7-CS100(100mm x 100mm)

STM7-CS200(200 mm x 200 mm) STM7-CS300(300 mm x 300 mm)

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察

常見問題

· 大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡，無法同時滿足多種觀察要求服務延伸。

STM7解決方案

· STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡優勢領先，而更換為物鏡轉盤后新趨勢，便可使用金相物鏡解決問題。這意味著作用，STM7將金相光學系統(tǒng)和測量光學系統(tǒng)同時結合在一臺測量顯微鏡中功能。通過這種方式應用的因素之一，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品預期，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶選擇的觀察方法敢於監督。

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候結構，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸重要的作用。此外，借助測量物鏡的低倍率能力規模最大，可以一次觀察到較大的視場穩中求進。

可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力統籌。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應暗場協同控製，偏光和微分干涉觀察振奮起來。

金相物鏡

明場圖像 暗場圖像

手動調焦和電動調焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動調焦和電動調焦兩個系列

聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據(jù)樣品和測量內容選擇符合您需求的機型試驗，而不需要考慮載物臺的尺寸勞動精神。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應3軸測量製度保障。

手動Z軸調焦機型

手動Z軸調焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調焦旋鈕預下達，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便統籌推進。

電動Z軸調焦機型

使用電動調焦裝置可以大幅提高操作性方案，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作保護好，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元組建。

一個具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見問題

· 其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應的操作單元特點，因而顯著降低測量效率深刻變革。

· 眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周圍和諧共生，占用了寶貴的工作空間質生產力。

STM7解決方案

操作裝置

對于奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作技術交流，包括重置計數(shù)器先進的解決方案、照明控制、調焦和自動聚焦等功能創造更多。為了提高效率和方便性宣講活動，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作工藝技術。

控制箱

各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中效率。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以大程度地減少占用工作空間近年來。

用于手動Z軸調焦機型:STM7-HS手動操作裝置

用于電動Z軸調焦機型：STM7-MCZ電動操作裝置

大大提高了觀察和測量效率的光源管理器

常見問題

· 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制講道理。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導致測量值也發(fā)生變化技術先進。

· 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時更多的合作機會，每次切換物鏡后都需要調節(jié)光強，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

STM7的光強可定量顯示有效保障，這樣就能保證始終在相同條件下實施觀察和測量大數據。

物鏡切換時，無需手動調節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤配置配套使用相結合。帶編碼物鏡轉盤會自動識別目前使用的物鏡高效化，結合光源管理器的預設值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強為產業發展。這樣每當切換物鏡后範圍和領域，可以自動調節(jié)光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調節(jié)光強的操作各項要求，現(xiàn)在就可以省略了更高要求。

5x物鏡光強50 20x物鏡光強70 100x物鏡光強120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)新技術。

常見問題

· 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時共同學習，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器

計數(shù)器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈深入，可以簡單的實現(xiàn)對設備當前設定狀態(tài)的確認效高。X、Y和Z軸的小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換基礎，此外性能，還可以在毫米、微米對外開放、英寸和密耳之間切換顯示單位技術創新。

計數(shù)器安裝在鏡架上

可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習慣放置在優(yōu)選位置資料。當用戶站著進行測量時廣泛應用，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側，以方便輕松的觀察和檢查結果橫向協同。當用戶通過數(shù)碼相機在顯示器上進行觀察和測量哪些領域，或使用電動Z軸調焦機型時，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進行作業(yè)不斷創新。

計數(shù)器放置在工作臺上

自動聚焦系統(tǒng)具有的重復性

實現(xiàn)更快建立和完善、更簡單、更精確的高度測量

常見問題

· 進行目視測量時堅持先行，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外滿意度，這種測量方法非常耗時優化上下，效率低下。

STM7解決方案

具有*的重復性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場范圍內生產體系，由操作者確認上下圖案的重合情況服務，奧林巴斯的聚焦導航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時能力和水平，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像覆蓋，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統(tǒng)研究，只需匹配標記便可進行測量高效，因此減少了操作者的主觀性對測量結果造成的影響。

目視高度測量

聚焦導航系統(tǒng)

焦點下方 焦點位置 焦點上方

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速提高、高精度的高度測量

常見問題

· 進行目視測量時機構，不同的操作者得出的高度測量結果也會不一樣。

· 手動高度測量需要操作者反復進行移動載物臺交流，使用旋鈕調焦的操作基礎，這使測量既耗時又低效。

· 很難對微小的物體聚焦還不大，比如引線高產。

STM7解決方案

自動對焦單元：出色的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7自動對焦單元均可以在短時間內實現(xiàn)高度精確的高度測量發揮作用。即使是粗糙或傾斜的樣品表面良好，利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦勇探新路，而小直徑的激光單產提升，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦試驗。

單次對焦模式

執(zhí)行自動聚焦后勞動精神，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場中心的清晰對焦。

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦製度保障，即使在移動工作臺的情況下預下達，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察統籌推進，從而*地提高了Z軸的測量效率方案。

實現(xiàn)觀察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉盤

將編碼物鏡轉盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率的必然要求。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調整設置研究成果。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇

MM6-EMO /正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒⊥晟坪?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用大面積。

STM7-FS/ 腳踏開關

實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸積極參與，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61/ 白光LED照明單元

具有小型培養，輕便交流研討，使用壽命長，功耗低等特點形式。此外建設應用，這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動控制單元

SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明日漸深入，并提供具有較高色溫的清晰圖像動力。可以從13種模式中選擇的照明豐富內涵。

旋轉載物臺

使用微調旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊生產效率。

STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺

STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺

STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺

專為更*測量而設計的系統(tǒng)

測量支持系統(tǒng)

對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量適應性。推動以更高精度實現(xiàn)復雜的測量正是開發(fā)全新奧林巴斯測量軟件的原因所在節點。該軟件亦可與數(shù)碼相機結合使用。

放置樣品后即可開始測量——無需將樣品平行對齊

直接測量

接受STM7輸出的坐標信息進行測量落地生根。

再調用測量

經(jīng)過測量或計算之后得到的坐標還可以再用于隨后的測量的特點。這樣就避免了重復同樣的工作，從而實現(xiàn)了更順暢和更高效的工作流程有效保障。

虛擬點測量

通過繪制直線和圓形可以形成交點大數據、中點、長度講實踐，以及一系列其它的測量項數字技術，然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測量項作為參考點保留。

對齊測量

原點與X軸均可根據(jù)樣品而設置市場開拓，這樣即使當樣品沒有和載物臺對齊平行時措施，也可以進行測量。

原來的軸 新軸

XZ平面測量

傳統(tǒng)的測量顯微鏡以從俯視觀察到的XY平面的測量為主要落實好。為了響應用戶從側視的角度測量斷面方向的需求實現，奧林巴斯在STM7-BSW中內置了XZ平面測量功能。以前很難實施的測量現(xiàn)在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測量組織了，或與基準線相比具有彎曲底部的凹槽的深度測量等服務體系。

半球形樣品的半徑測量 凹槽底部與參考線之間的高度測量

記錄重復測量的步驟

宏注冊

可以將經(jīng)常使用的對齊和其它測量步驟組合并定義成單個宏按鈕，這樣每次啟動顯微鏡后搶抓機遇，無需從零開始分析。

重復執(zhí)行測量

通過根據(jù)已記錄的教學列表的指示，簡單地移動載物臺全面闡釋、獲取坐標值非常激烈，可以輕松地進行重復測量拓展基地，完成所有的作業(yè)。此功能可用于對相同類型樣品重復執(zhí)行相同的測量項目實力增強。此外，如果在已記錄的教學列表中設置了設定值和公差探索創新，當測量值超過規(guī)格時帶來全新智能，軟件可以自動判定。

NG結果示例

重復執(zhí)行測量的測量點導航

這個功能可以顯示移動到下一個測量點的方向和距離新產品，從而消除了操作者在這一環(huán)節(jié)上的苦惱去完善。該功能還省去了每此移動前需要在圖紙上確認下一個測量點的麻煩，在重復測量的時候提高了操作者作業(yè)的速度長遠所需。

可以消除測量過程中主觀性影響的便捷功能

自動邊緣檢測

這個功能檢測樣品的邊緣求索，自動獲取樣品的坐標并測量。因此規模，操作者不再需要坐標穩定發展，降低了操作者的主觀性對測量的影響。自動邊緣檢測的另外一個特色是具有定時功能聯動，實現(xiàn)了到規(guī)定的時間后自動獲取坐標增持能力。定時功能和腳踏開關功能，使操作者能夠在手不需要離開載物臺手柄的情況下專心測量行業內卷。

圓形內的自動邊緣檢測 多點自動邊緣檢測

異常點消除

邊緣檢測過程中追求卓越，可以自動將金屬毛刺等異常點排除在外。這樣參與能力，不管樣品的狀態(tài)如何合理需求，都會得出一致的測量值計算結果。此外充分發揮，也可以將被排除的異常點以不同的顏色顯示在屏幕上發力。

帶有異常點的樣品 異常點消除功能

照明控制

顯微鏡照明的光強也可以通過軟件精確地控制。當注冊重復執(zhí)行測量的教學列表時競爭激烈，也可以保存光強的設置持續創新，這樣在重復執(zhí)行測量或自動邊緣檢測過程中，實現(xiàn)了在相同的照明條件下實施測量空白區。

自動倍率識別（可選配協調機製，僅適用于編碼物鏡轉盤的配置）

通過使用編碼物鏡轉盤，在切換物鏡時形勢，可以自動調用先前設定好的校準值實踐者。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。

生成定制報告

一鍵生成報告

測量結果可以一鍵輸出為Excel格式約定管轄，這避免了在記錄數(shù)據(jù)過程中發(fā)生錯誤的可能性數據。圖像也可以與測量結果一起粘貼創新的技術，從而實現(xiàn)了更高效地生成報告。

可選功能：多圖拼接（MIA）功能

拼接多個圖像可以獲得一個具有高倍率的廣域圖像顯著。因為圖像是根據(jù)坐標數(shù)據(jù)拼接而成快速增長，因此系統(tǒng)能夠產(chǎn)生高可靠度的圖像。

可選功能：景深擴展（EFI）功能

對于具有不均勻占、復雜表面形狀的樣品高質量，EFI功能能非常有效地獲取在整個高度范圍內都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時激發創作，移動Z軸獲得多張不同焦點位置的圖像前景，再進行圖像處理，后合成為一張全面對焦的圖像增幅最大。如果使用電動Z軸模塊可以實現(xiàn)一鍵自動圖像合成共享應用。