稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM責任；源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口保護好；1路稀釋氣入口組建，3路輸出口和1路排空口；42個(gè)按鍵薄膜鍵盤特點；8位數(shù)字輸入/輸出深刻變革，1路串行輸出；彩色大屏顯示和諧共生，

儀器特點(diǎn)：

稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM著力增加；

源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；

2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口科技實力；

1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口建設；

42個(gè)按鍵薄膜鍵盤在此基礎上；

8位數(shù)字輸入/輸出，1路串行輸出前來體驗；

彩色大屏顯示自主研發，

性能參數(shù)：

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；

源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)更加廣闊，1路吹掃損耗；

稀釋流量：0-10SLM(0-20SLM可選)；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）非常完善；

流量精度：<1%FS性能穩定；

流量重復(fù)：<±0.15%FS；

線    性：<±0.5%FS作用；

入口壓力：12-35PSIG情況正常；

集成輸出：3路輸出，1路放空（1路滲透端可選）；

操    作：42按鍵薄膜鍵盤手動輸入或外接鍵盤提高鍛煉；

校準(zhǔn)定義：20個(gè)工廠配置流路發展邏輯，每個(gè)流路可大20個(gè)線性點(diǎn)；

校準(zhǔn)類型：稀釋氣製高點項目，臭氧為產業發展，GPT；

氣體定義：1路稀釋氣有所增加，20路源氣各項要求；

自動校準(zhǔn)：可驅(qū)動20路定時(shí)程序，用戶可自定義反應能力；

數(shù)字輸入/輸出：可使用觸點(diǎn)觸發(fā)或TTL邏輯控制的8位校準(zhǔn)功能共謀發展；

通    訊：RS232,以太網(wǎng)TCP/IP可選；

溫    度：5-40℃結構重塑；

外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)聽得懂；重    量：8.6kg；

電    源：98-264VAC高質量發展，100VA全方位，50/60HZ。