稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM更加廣闊；2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口規劃；1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口

稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM方便；
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM基礎上；
2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口各領域；
1路稀釋氣入口應用領域，3路輸出口和1路排空口

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)作用；

源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)求索，1路吹掃推進一步；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）品率；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）高質量發展；

流量精度：≤1%FS平臺建設；

流量重復(fù)：≤±0.15%FS開展；

線    性：≤±0.5%FS等多個領域；

響應(yīng)時間：<1分鐘共享；

操作：按鍵信息化，鍵盤，串口生動，USB新型儲能，以太網(wǎng)；

校準(zhǔn)定義：20個工廠配置流路新品技，每個流路可大20個線性點範圍；

校準(zhǔn)類型：稀釋氣，臭氧紮實做，GPT空間廣闊；

儀器特點：

操作簡單，方便提供深度撮合服務；

溫度顯示穩(wěn)定,可靠服務品質；

壓力可調(diào),面板帶壓力表的發生；

可方便地放入滲透管。

性能參數(shù)

溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng)集成；

溫度傳感器：RTD;

前面板安裝：調(diào)壓器更為一致，壓力表，溫控器技術的開發，稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm研究與應用，長度12.7cm，

    溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃更高效，

性能參數(shù)

溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng)全面協議；

溫度傳感器：RTD;

前面板安裝：調(diào)壓器，壓力表具體而言，溫控器工具，稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm，長度12.7cm喜愛，

    溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃重要的角色，