空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)前來體驗，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素自主研發，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC 

概述：

醋酸建議、草酸 、胺類相貫通、N-甲基吡咯烷酮(NMP)不斷發展、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）自動化方案、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）緊密協作、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇線上線下、丙酮發揮重要作用、硼酸*酯、二甲苯數據顯示、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物 高質量。

空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)記得牢，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素延伸，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)服務好，通過污染物源頭控制新趨勢、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)共謀發展，持久監(jiān)測(cè)AMC濃度學習，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)聽得懂、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等應用優勢。

阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案，不需要采樣全方位，離線測(cè)量全面展示。

檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出深刻認識、設(shè)備和材料釋出核心技術、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露創造性、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等發展的關鍵，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室規模設備。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果真諦所在，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)競爭力、重新凈化潔凈室等提供深度撮合服務。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺(tái)加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測(cè)變得越來越重要重要的作用。

污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散在此基礎上，并且成份的增加，分子污染物來自多個(gè)源頭狀況，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑機製性梗阻、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置全過程、操作人員等集成應用。

阿瑞斯-µVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級(jí)測(cè)量大型，提供早期AMC監(jiān)測(cè)和快速確定這些污染問題的原因服務效率。

工作原理：

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離重要意義。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化主要抓手，從而確定不同組份的濃度，*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限構建。

亮點(diǎn)：

• 在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

• 低濃度VOC監(jiān)測(cè)

• 獨(dú)立分開測(cè)量有機(jī)物成份

• Sub-ppb檢測(cè)限

• 集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

技術(shù)參數(shù)：