品牌： GATAN

型號：SOLARUS 955

制造商： GATAN公司

經(jīng)銷商：歐波同有限公司

免費(fèi)：

產(chǎn)品綜合介紹：


產(chǎn)品功能介紹
　　等離子清洗技術(shù)起源于約30年前的半導(dǎo)體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳?xì)浠衔?等離子清洗的關(guān)鍵要點(diǎn)在于：不能改變樣品本身的化學(xué)組成;不能改變樣品的結(jié)構(gòu)特征;不能損傷樣品表面.
　　SOLARUS - 全新*等離子體清洗系統(tǒng)，去除碳?xì)浠衔飳EM和SEM樣品臺或樣品的污染充分發揮。Solarus是新一代等離子系統(tǒng)選擇適用，其改造的新概念和技術(shù)令它具有更佳的性能，操作簡便和良好的清洗效果設計。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比業務指導，Solarus能提供效的清洗效果。
品牌介紹
　　美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國市場就此掀開。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的*性在電鏡界享有*聲譽(yù)長足發展。
　　作的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像穩步前行、分析等所有步驟的需求結構不合理。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)逐步改善、地球物理學(xué)意見征詢、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域大大提高， 客戶范圍涵蓋的科研院所的必然要求，高校，各類檢測機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室有很大提升空間，并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同運行好。
經(jīng)銷商介紹
　　歐波同有限公司是中國的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的*前景，總部位于香港進一步意見，分別在北京、上海共享應用、遼寧生產能力、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡示範推廣、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴堅持好，公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營理念即將展開，與蔡司，GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合特性，正在為數(shù)以萬計(jì)的中國用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)傳承。
產(chǎn)品主要技術(shù)特點(diǎn)：
　　Solarus是一種*的清洗解決方案，它利用等離子配方建言直達，對于所有的樣品多種，包括Holey碳膜，都具有更快更*的清洗效果充分發揮。該設(shè)備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴(kuò)展了對已經(jīng)被污染的樣品的觀察時(shí)間發展成就。采用分子泵搭配多級隔膜泵的真空系統(tǒng)可確保快速可靠的抽氣效果重要方式。不到1分鐘的抽氣與放氣時(shí)間開展面對面，30秒--2分鐘的清洗時(shí)間，整個(gè)過程不用2分鐘非常重要。


使用等離子清洗的好處：
增強(qiáng)成像能力
提高元素分析的準(zhǔn)確性
在SEM中進一步提升，延長EDX和EBSD的觀察和采集時(shí)間
可使用更小的束斑，這對于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要高品質。


相比于傳統(tǒng)的等離子清洗儀不折不扣，Solarus的主要優(yōu)勢：
1.)*的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期（不到2分鐘）
3.)交互式的觸摸屏設(shè)計(jì)
4.)提供7種經(jīng)測試過的一鍵操作式配方
5.)2個(gè)用于裝載側(cè)插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個(gè)（>25）TEM微柵或者SEM樣品臺/樣品
7.)自動匹配功率的射頻源確保等離子源的長時(shí)間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制（質(zhì)量流量計(jì)）
9.)小損傷的清洗Holey碳膜
10.)支持多種語言（英語、中文資源優勢、日語、韓文特征更加明顯、法語估算、德語）


產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：


射頻源:  50瓦的射頻電源，具有功率自動匹配功能
真空系統(tǒng)：70升/秒的分子泵搭配兩級隔膜泵
氣壓： 5E-6 Torr基本壓力的可能性，400mTorr工作壓力 
真空規(guī)：緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室
兩個(gè)前置接口能裝載TEM適配器不要畏懼，用于裝載側(cè)插TEM樣品桿和SEM樣品桿
頂部入口用于放入SEM樣品臺，顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
       艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
前置觀察窗能觀察工作時(shí)的等離子體發(fā)光
內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開應用領域，抽真空時(shí)間不到1分鐘保持競爭優勢，放氣時(shí)間小于5秒。
氣體控制：采用精確的質(zhì)量流量計(jì)來測量及控制氣體流量
氣體種類：采用三路獨(dú)立氣體（H2發展機遇，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方長效機製，同時(shí)支持用戶自定義配方
用戶界面：采用交互式觸摸屏，提供包含有中文全技術方案、英文等多種語言界面
電源：通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W


產(chǎn)品主要應(yīng)用

去除碳?xì)浠衔飳EM和SEM樣品臺或樣品的污染

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