痕量氣體在線分析儀GA-370

GA-370 用于空氣分離和半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)的高純氣體的質(zhì)量管理更為一致，為氣體生產(chǎn)設(shè)施的質(zhì)量管理提供連續(xù)的等形式，高靈敏度及高精確度的微量雜質(zhì)（CO,CO2,CH4）監(jiān)測。

1. 高靈敏度的監(jiān)測

▶ 采用交替流動調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）研究與應用，零點極其穩(wěn)定飛躍，無漂移。
▶ *小檢測限（MDL）為10 ppb積極影響，可支持需要高精度測量的應(yīng)用自動化方案。

GA-370痕量氣體分析儀內(nèi)置的紅外光源的光束通過氣室到達檢測器。在測量過程中越來越重要，電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測量氣室中線上線下。
與氣室中充滿參比氣體時的情況相比，當氣室中充滿樣氣的時候醒悟，樣氣中的CO數據顯示、CO2以及CH4會引起到達檢測器的光強度的不同。檢測器檢測到的兩種氣體對光的吸收差異也逐步提升，使檢測器薄膜發(fā)生偏轉(zhuǎn)而振動記得牢。采用這種測量技術(shù)能省去光學(xué)斬波器和光學(xué)調(diào)整的需要，消除零點漂移重要的作用，提高了靈敏度更多可能性。

二．高純氣體中微量雜質(zhì)的監(jiān)測
▶ 可應(yīng)用于典型平衡氣體如：氮氣，氧氣足夠的實力，氦氣緊迫性，氬氣，氫氣和空氣更適合。
如有需要用于測量其他平衡氣的情況, 請聯(lián)系我司高效。

三．操作簡便，免維護
▶ 操作簡便的屏幕菜單簡化了分析儀的校準和測量等各項操作要素配置改革。
▶ 無需光學(xué)調(diào)整體系。
▶ 觸摸式彩色液晶顯示屏（LCD）能夠以圖表方式顯示歷史數(shù)據(jù)。

四．典型應(yīng)用
一般情況下核心技術體系，工業(yè)氣體如氧氣和氮氣開拓創新，是由空氣分離設(shè)備制造的。將除去水分（H20）和二氧化碳（CO2）的原料空氣通入分離裝置必然趨勢，分離裝置利用氮氣（N2）促進善治、氬氣（Ar）和氧氣（O2）三者沸點不同分離出不同氣體擴大。同樣地，空氣分離設(shè)備也能制造其他稀有或惰性氣體發揮效力，如氫氣（H2）和氦氣（He）新格局。
HORIBA 的GA-370痕量氣體分析儀能有效測量分離后氣體中的雜質(zhì)，保證了氣體質(zhì)量安全鏈。

五．在線分析儀GA-370技術(shù)參數(shù):
型號： GA-370
測量組分： CO, CO2 和 CH4
高純氣體種類： N2競爭力，O2，He, Ar, H2, Air
測量組分數(shù)： 1-2種（由平衡氣體種類決定）
測量原理：交替流動調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）
量程：0～1/2/5/10 ppm
檢測下限：10 ppb
零點漂移：≤±0.02 ppm/天, ≤±0.03 ppm/周
量程漂移：≤±2% F.S./天, ≤±3% F.S./周
響應(yīng)時間：≤180s
外形尺寸和重量：430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分)進一步完善，約18 kg
電源：100～240 V AC集聚，≤±10% (*大電壓：250 V AC)

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