在微電子和半導(dǎo)體行業(yè)中基石之一，檢驗(yàn)聯動、過(guò)程控制或缺陷和故障分析的速度至關(guān)重要。檢測(cè)缺陷的速度越快共同努力，您做出響應(yīng)的速度也就越快行業內卷。

視場(chǎng)寬敞 30%

DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場(chǎng)幫助您的團(tuán)隊(duì)更快地識(shí)別缺陷，提高您的收益率逐漸完善。充分利用*的宏觀物鏡參與能力，視場(chǎng)寬敞 30%。

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對(duì)所有相襯觀察方法使用 LED 照明異常狀況。LED 照明可提供恒定的色溫研究，并在所有亮度等級(jí)下提供真彩色成像。

在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像

自由調(diào)節(jié)

無(wú)需更換燈泡 – 無(wú)停機(jī)時(shí)間

可復(fù)制的結(jié)果

由于 LED 使用壽命長(zhǎng)應用創新，耗電量低提高，因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。

光學(xué)“高手”

DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價(jià)格享受到的光學(xué)性能的特性。

采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面交流、邊緣或碎屑：以簡(jiǎn)單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化提供堅實支撐。

借助深暗場(chǎng)對(duì)比檢測(cè)樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒還不大。

您將對(duì)明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。