Hprobe應(yīng)用方向
■ 磁性隧道結(jié)
■ 磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器
■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能傳感器
Hprobe探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 可以用于100~300mm晶圓
■ 提供大的面內(nèi)和垂直磁場(chǎng)
■ 磁場(chǎng)定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
■ 快速掃描能力
■ 嵌入式傳感器校準(zhǔn)
■ 自動(dòng)測(cè)試程序
■ MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
■ 與標(biāo)準(zhǔn)探針卡兼容
■ 快速掃場(chǎng)能力
Hprobe探針臺(tái)技術(shù)原理
探針臺(tái)采用*的三維磁場(chǎng)發(fā)生器更默契了，每個(gè)磁場(chǎng)空間軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)先進技術。利用這3個(gè)自由度，用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場(chǎng)不合理波動，也可以生成旋轉(zhuǎn)場(chǎng)宣講手段。三維磁場(chǎng)裝置配備了所有相關(guān)配件，測(cè)試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包積極拓展新的領域。
三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)頂部配套設備，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場(chǎng)。為了適應(yīng)器件測(cè)試設(shè)計(jì)相對開放，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中推進高水平。磁場(chǎng)發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。
Hprobe探針臺(tái)基本參數(shù)
| 面內(nèi) (XY) | 垂直 (Z) | |
| 大單軸磁場(chǎng) | 350 mT | 550 mT |
| 磁場(chǎng)均勻性@+/1mm | ± 1% | ± 1% |
| 磁場(chǎng)分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
| 角度分辨率 | 0,02° | - |
| 場(chǎng)掃描采樣率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
| R-H 回線測(cè)試時(shí)間 | < 100 ms | < 100 ms |
