管式加熱氣氛爐可以從以下幾個(gè)方面分類:
1責任製、從爐膛形狀上可分為:箱式電阻爐和管式電阻爐;
2倍增效應、從操作程序上可分為:人工編程電阻爐和人工智能電阻爐規則製定;
3、從實(shí)驗(yàn)所需氣氛條件可分為:氧化氣氛電阻爐和真空氣氛電阻爐多樣性。
4發揮效力、從高溫度上可分為:低溫電阻爐(600℃以下)新格局,中溫電阻爐(600℃-1000℃)明顯,高溫電阻爐(1000℃-1700℃),超高溫電阻爐(1800℃-2600℃)顯示。
因?yàn)閷?shí)驗(yàn)的物料較少創新為先,大都會(huì)用坩堝來盛放,根據(jù)物料的不同集聚,溫度的不同競爭力,來選購坩堝調整推進,坩堝大都分為:坩堝可分為石墨坩堝、粘土坩堝和金屬坩堝三大類機製性梗阻。實(shí)驗(yàn)電爐采用的是高純剛玉坩堝機製,石英坩堝,石英含鋯坩堝集成應用。
1探討、剛玉坩堝是由多孔熔融氧化鋁組成,質(zhì)堅(jiān)而耐熔高效流通。
2調解製度、剛玉坩堝適于用無水Na2C03等一些弱堿性物質(zhì)作熔劑熔融樣品,不適于用Na 202功能、NaOH等強(qiáng)堿性物質(zhì)和酸性物質(zhì)作熔劑(如K2S 207等)熔融樣品應用的因素之一。
3、石英坩堝可在1650度以下使用預期,分透明和不透明兩種敢於監督。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑硅,是發(fā)展大規(guī)模集成電路*的基礎(chǔ)材料結構。當(dāng)今更合理,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。它具有高純度更優美、耐溫性強(qiáng)各方面、尺寸大、精度高成效與經驗、保溫性好適應性、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)稍有不慎。
4重要作用、不能和HF接觸,高溫時(shí)最為顯著,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽反應(yīng)尤為突出。
5、石英坩堝適于用K2S2O7環境,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品進行部署。
6、石英質(zhì)脆應用情況,易破保護好,使用時(shí)要注意。
7、除Hf外特點,普通稀無機(jī)酸可用作清洗液深刻變革。
管式加熱氣氛爐常規(guī)規(guī)格表(可以抽真空沖氣氛氣體)
型號(hào) | 溫度(℃) | 爐膛尺寸(mm) | 輸入電源/功率(V/KW) |
SX2-1-12TP | 1200℃ | 100*100*100 | 200V/1KW |
SX2-2-12TP | 1200℃ | 200*150*150 | 220V/2KW |
SX2-6-12TP | 1200℃ | 300*200*200 | 220V/6KW |
SX2-9-12TP | 1200℃ | 400*300*300 | 380V/9KW |
SX2-2-14TP | 1400℃ | 100*100*100 | 220V/2KW |
SX2-4-14TP | 1400℃ | 200*150*150 | 220V/4KW |
SX2-9-14TP | 1400℃ | 300*200*200 | 380V/9KW |
SX2-16-14TP | 1400℃ | 400*300*300 | 380V/16KW |
SX2-2-17TP | 1700℃ | 100*100*100 | 220V/2KW |
SX2-4-17TP | 1700℃ | 200*150*150 | 220V/4KW |
SX2-9-17TP | 1700℃ | 300*200*200 | 380V/9KW |
SX2-16-17TP | 1700℃ | 400*300*300 | 380V/16KW |


