利用艾里卡特MCE或MCV系列產(chǎn)品更新您的真空鍍膜機推動並實現。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標準質(zhì)量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接覆蓋範圍。
MCV和MCE聯(lián)系緊密優化程度，采用內(nèi)置氣動截止閥，適用于高真空應用奮勇向前。將空氣管線連接到截止閥上不斷豐富，防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況。

Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理組建，擁有LFE技術各有優勢，憑借航天級水準，*支持美國*(NASA)重要的意義、SpaceX探空火箭項目持續，并為科研及工業(yè)領域提供快捷、穩(wěn)定的技術解決方案再獲。

產(chǎn)品類型：氣體或液體質(zhì)量流量計產品和服務、質(zhì)量流量控制器、壓力計體驗區、壓力控制器增多。

客戶行業(yè)：實驗科研、環(huán)境保護新格局、生物醫(yī)藥明顯、過程控制、能源化工顯示、半導體電子以及相關的公共事業(yè)創新為先。

應用領域：計量檢測、泄漏測試科普活動、生物發(fā)酵持續向好、燃燒控制習慣、真空鍍膜、光伏進展情況、燃料電池等的積極性。

任何天氣條件下均可準確完成空氣流量校準

簡單升級老化的熱式流量控制器

利用艾里卡特MCE或MCV系列產(chǎn)品更新您的真空鍍膜機。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標準質(zhì)量流量控制器的控制響應速度一樣快至關重要，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接不久前。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動截止閥提升行動，適用于高真空應用能力建設。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況研究進展。

多功能無障礙。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成快速融入。

連接認為。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT增強、DeviceNet重要意義、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項更加廣闊，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡中規劃。

耐用。MCE和MCV系列流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動可以使用。

性能

可用量程：大0-20 slpm進入當下；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

高精度（選配效高化，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

可重復性：0.2%滿量程

標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能支撐作用，可縮短至25ms）

氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值範圍，氦氣）

無需預熱時間

工作條件

兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體充分發揮；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度：-10°C至+60°C

大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

耐受壓力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）