DVIA-MO 系列高精密主動隔振光學平臺是由臺面和主動隔振支撐兩部分組成助力各行。
臺面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)，上臺面為熱形變系數(shù)很小的430 系列高導磁鎳合不銹鋼自主研發，臺面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺紋孔確定性， 方便安裝儀器，每個螺紋孔下方具有獨立的隔離杯損耗，方便清潔講故事。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu)，是把0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu)性能穩定，增加了臺面結(jié)構(gòu)的密度全面革新，減小體積，采用先進的粘合工藝情況正常，堅固耐用線上線下。臺面的底部和側(cè)板用碳鋼作為主體材料，具有非常優(yōu)秀的動態(tài)和靜態(tài)的剛性醒悟。
主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機構(gòu)和主動隔振器DVIA-M數據顯示， 每個支撐里面一般會有4 個DVIA-M 系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器也逐步提升，主要消除0.5- 10Hz 的外部振動, 被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔著支撐負載和隔絕高頻率振動的作用記得牢。
這個系列的平臺可以在低頻范圍（0.5-10Hz）提供非常隔振性能，它可以應用于很多對振動要求非常高重要的作用，甚至具有挑戰(zhàn)的領域更多可能性，比如高分辨率的光譜儀去創新，高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學研究和制備等。
DVIA-MO系列高精密主動隔振光學平臺主動隔振平臺技術(shù)指標：
固有頻率：0.5-100Hz
自動平衡共謀發展，響應時間短學習，平衡速度快
鋼蜂巢內(nèi)核：鋼制蜂窩芯，鋼板厚度0.25mm,每個蜂巢面積3.2cm²
表面平整度：±0.1mm /600 mm²
臺面：4.0mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼
底面：4.0mm厚碳鋼聽得懂，表面氧化處理
邊墻板：2.0mm厚碳鋼應用優勢，包裹高阻尼聚乙烯材料
孔徑： M6 (英制螺孔可選)
孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，zui外邊孔距平臺邊緣37.5mm
螺孔密封：每個螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封全方位，方便清潔
阻尼隔振方式：寬帶阻尼
DVIA-MO系列高精密主動隔振光學平臺特點：
具有非常優(yōu)秀的隔振性能高效節能，特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率；
采用慣性傳感器大局，可以檢測出六個自由度的振動新創新即將到來，并做補償；
采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面有序推進，厚度可選100/200/300mm設施；
進口精密主動隔振光學平臺；
隔振性能優(yōu)異堅定不移，廣泛應用于掃描探針顯微鏡規模設備，原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡指導，激光干涉儀 競爭力，半導體檢測設備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等進一步完善。
DVIA-MO系列高精密主動隔振光學平臺細節(jié)說明：
光學平臺隔振性能參數(shù)：
DVIA-M系列主動隔振器參數(shù)表：
型號 | DVIA-M1000 | DVIA-M2000 | DVIA-M3000 |
尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 |
控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 |
zui大負載(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 |
重量(kg) | 15 | 15 | 15 |
驅(qū)動方式 | 電機驅(qū)動 |
隔振自由度 | 6個自由度 |
隔振效率 | 95%-99%at 10Hz |
回復時間 | <0.5Sec |
驅(qū)動器推力 | 豎直>20N,水平>40N |
輸入電壓 | AC 85-264/50-60Hz |
功率消耗 | 峰值功率110W,穩(wěn)定功率50W |
空氣壓力 | 大于0.5Mpa |
環(huán)境要求 | 溫度℃ | 5-50°C |
濕度 | 20%-90% |
主動隔振頻率范圍 | 0.5-100Hz |
初始水平調(diào)整 | 自動調(diào)整 |
系統(tǒng)配置 | 4個隔振器包含控制箱 |
