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上海第一批工業(yè)噪聲污染防治典型案例|上海超硅半導體股份有限公司廢氣洗滌塔和風機降噪案例

2025-03-26 10:32:31來源:上海環(huán)境關(guān)鍵詞:廢氣處理閱讀量:11439
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  上海超硅半導體股份有限公司(以下簡稱“上海超硅”或“公司”)于2008年成立于上海松江共同努力,多年潛心于集成電路用200mm/300mm大尺寸單晶硅晶體生長系統(tǒng)、人工晶體追求卓越、半導體材料等相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)品的研發(fā)逐漸完善、生產(chǎn)與銷售,主要產(chǎn)品包括集成電路用200mm合理需求、300mm大尺寸拋光硅片是目前主流、外延片、氬氣退火片等高質量。項目生產(chǎn)工藝設備均置于潔凈廠房內(nèi)充分發揮,且噪聲級較小。噪聲源主要是冷凍機組管理、空壓機的特性、真空泵、風機基礎、水泵,以及應急發(fā)電機組等輔助動力設備還不大。
 
  生產(chǎn)區(qū)排風有一般廢氣(廢熱)排風和工藝排風高產。工藝排風分為酸性廢氣、堿性廢氣處理裝置布設在硅片生產(chǎn)廠房屋頂發揮作用,凈化后的工藝廢氣經(jīng)排氣筒排放良好。在工程設計上除采用風機減振臺基礎,通風機的進風和出風口均加設消聲器,接頭處采用柔性軟接頭引領;門窗均采用隔聲門自動化裝置、隔聲窗。對于設置在屋頂?shù)娘L機應用前景,加設風機隔聲罩高質量,以降低風機噪聲對周圍環(huán)境的影響。
 
  01 控制噪聲源
 
  控制噪聲源是防治噪聲的根本措施激發創作,具體措施包括:
 
  ‌采用較低噪聲設備‌:1. 工藝排氣設備采用較低噪聲的設備前景,保證風機1.5m范圍外噪聲低于85dB;2. 洗滌塔循環(huán)水泵采用較低噪聲的設備增幅最大,保證水泵1.5m范圍外噪聲低于70dB共享應用。
 
  ‌隔離噪聲源‌:對于高噪聲源——電動機采取隔離措施,在電動機上設置防護罩標準,減少噪聲傳播示範推廣。
 
  02 控制噪聲傳播
 
  通過以下措施控制噪聲傳播:
 
  ‌使用消聲材料‌:在洗滌塔機房的墻壁和房頂使用消聲材料,吸收或反射聲能‌即將展開。
 
  ‌設置隔振或減振裝置‌:在風機大幅增加、循環(huán)泵、洗滌塔本體和風管的基礎與地面培養、墻壁聯(lián)接處設置隔振或減振裝置交流研討,防止通過固體傳播的噪聲‌。
 
  03 個體防護
 
  對于噪聲強度相對比較高的生產(chǎn)場所形式,佩戴個人防護用品是有效措施:
 
  ‌耳塞‌:由橡膠或軟塑料制成建設應用,隔聲效果可達25——30分貝。
 
  ‌耳罩‌:隔聲效果優(yōu)于耳塞日漸深入,效果可達30——40分貝動力。
 
  04 治理效果分析
 
  該項目噪聲控制措施的關(guān)鍵在于將強噪聲源—應急柴油發(fā)電機、空壓機和真空泵等均布置在密閉的廠房內(nèi)互動式宣講,采取了較嚴密的降噪措施效高性;對于設置在屋頂?shù)睦鋮s塔、通風機等自動化,均采取了相應的減振提升、消聲措施,抓住了項目降噪的主體不折不扣,又未忽視局部支撐能力,所采取的措施是有效、合理可行的高效利用。
 
  05相關(guān)證明文件
 
  每年按照工作場所職業(yè)衛(wèi)生的要求對廢氣洗滌塔和風機區(qū)域進行噪聲檢測特征更加明顯,均合格估算。
 
  供稿:松江區(qū)生態(tài)環(huán)境局
 
  原標題:上海第一批工業(yè)噪聲污染防治典型案例|上海超硅半導體股份有限公司廢氣洗滌塔和風機降噪案例
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