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為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展護航|NexION 5000 SEMICON China參展受關(guān)注將進一步！

2020-07-23 16:13:02來源：珀金埃爾默關(guān)鍵詞：珀金埃爾默閱讀量：1954

　　【儀器網(wǎng) 珀金埃爾默】6月27-29日系統，半導(dǎo)體行業(yè)盛會SEMICON China 2020在上海新博覽中心舉行無障礙，專業(yè)的分析儀器制造商之一珀金埃爾默，攜全面的半導(dǎo)體行業(yè)解決方案互動互補，以及新的無機元素分析利器發揮重要帶動作用，業(yè)界首款化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS NexION® 5000精彩亮相。現(xiàn)場來往的專業(yè)觀眾不少都被這臺具有超前性能優(yōu)勢的新產(chǎn)品吸引駐足意料之外，與我們的技術(shù)人員交流了解文化價值。

NexION® 5000精彩亮相

　　在展會期間，珀金埃爾默應(yīng)用市場高級產(chǎn)品經(jīng)理受邀與27日下午的新技術(shù)發(fā)布會上發(fā)表主題演講《珀金埃爾默化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS助力半導(dǎo)體工業(yè)無機元素檢測》置之不顧。半導(dǎo)體行業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)不斷完善，更先進的芯片一直是行業(yè)的核心追求之一。在指甲蓋大小的芯片上可能集合了近萬米金屬線和幾千萬甚至上億根晶體管，這猶如在一粒沙上建造一座城市基礎上，對集成電路芯片生產(chǎn)工藝提出了很高的要求各領域。在半導(dǎo)體器件制造過程中，對痕量元素雜質(zhì)的控制會直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率保持競爭優勢。這要求對半導(dǎo)體制程中的晶圓進行培訓、超純水、化學(xué)試劑長效機製、光刻膠法治力量、電子特氣等進行嚴(yán)格的無機元素檢測。目前分享，根據(jù)新的制程要求共享，SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會)Grade 5 標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體用超純水本底要求為小于1ppt水平方式之一，所有超純化學(xué)品中關(guān)鍵無機元素離子小于10ppt生動，更有半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)依據(jù)其制程工藝，提出需達到5ppt甚至更低的水平創新能力。

　　珀金埃爾默為滿足嚴(yán)苛的痕量元素新品技、超痕量元素檢測而開發(fā)的NexION 5000，具有業(yè)內(nèi)獨有的四組四極桿設(shè)計溝通機製，結(jié)合碰撞反應(yīng)池技術(shù)好宣講，可提供超低的背景等效濃度、優(yōu)異的檢出能力和基體耐受性領先水平，可實現(xiàn)高準(zhǔn)確度和高可重現(xiàn)性的分析結(jié)果。其四組四極桿質(zhì)譜平臺和四路碰撞反應(yīng)氣，可以依據(jù)不同的應(yīng)用需求設計能力，簡單品牌、靈活地進行選擇，在性能上較現(xiàn)有的高分辨HR-ICP-MS更為一致、傳統(tǒng)三重四極桿和單四極桿ICP-MS均有質(zhì)的提升等形式，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)越來越嚴(yán)苛的工藝質(zhì)控要求。

　　在報告之后研究與應用，這位高級產(chǎn)品經(jīng)理還受到了媒體的關(guān)注飛躍，并接受了中國集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)觀察的采訪，請他介紹珀金埃爾默在半導(dǎo)體行業(yè)檢測中的布局及其先進的分析檢測技術(shù)如何助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展全面協議。

　　優(yōu)質(zhì)儀器助您檢測

　　珀金埃爾默可提供傅里葉變換紅外光譜儀重要部署、紅外顯微鏡、紫外可見近紅外分光光度計工具、差示掃描量熱儀智慧與合力、熱機械分析儀等產(chǎn)品喜愛，用于測定固化率、固化熱開放要求、熱膨脹系數(shù)向好態勢、透光率、反射率服務機製、微觀污染物貢獻力量、成分濃度等，為客戶提供全面的解決方案大幅拓展「采w範圍；瘜W(xué)分析與檢測對集成電路生產(chǎn)非常重要，它們?yōu)榇_保芯片生產(chǎn)質(zhì)量積極性，改善良品率，提供敏銳的“眼睛”不斷豐富。前不久實施體系，業(yè)界就發(fā)生過因光刻膠中相關(guān)金屬離子不達標(biāo)從而引起幾億美金損失的慘痛教訓(xùn)。珀金埃爾默在半導(dǎo)體行業(yè)的檢測方案囊括了無機元素與納米顆粒檢測各有優勢、AMC及VOCs等有機物檢測以及IC封裝中材料檢測等方面效果較好，能有效地為企業(yè)規(guī)避上述風(fēng)險。

如同我司高級產(chǎn)品經(jīng)理于采訪中所言：

　　“我們期待與用戶一同持續，引進和開發(fā)更多有針對性的應(yīng)用方案等多個領域，用先進的技術(shù)和可靠的儀器為客戶帶來實實在在的幫助，助力中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展”必然趨勢。

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