Huace-4簡易探針臺(tái)
產(chǎn)品簡介：
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上體系，在顯微鏡配合下生產製造，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測的位置攜手共進。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕共同，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn)大部分，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通強大的功能，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：
◆ 滿足I-V/C-V解決方案，PIV測試優勢，光電測試等；
◆ 可用于6英寸以內(nèi)樣品測試增產；
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)便利性，線性移動(dòng)；
◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用行動力；
◆ 形狀輕巧提供有力支撐，操作方便，價(jià)格實(shí)惠保供。
技術(shù)參數(shù)：
臺(tái)體規(guī)格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360°旋轉(zhuǎn)自行開發，可微調(diào)15°，精度0.1°引領，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動(dòng)行程 | 2英寸×3英寸 |
X-Y移動(dòng)精度 | 10μm |
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附自動化裝置，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
針座平臺(tái) | 左右各一個(gè)針座平臺(tái)應用前景，**可放置6個(gè)探針座 |
背電極測試 | 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空有很大提升空間，4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長*380mm寬*500mm高 |
設(shè)備重量 | 約20KG |
光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X |
移動(dòng)行程 | 水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8毫米 |
光源 | 外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動(dòng)精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附首次，真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼可能性更大；鈹銅 |
可選附件：
加熱臺(tái)；
顯示器搖籃；
轉(zhuǎn)接頭技術；
射頻測試配件；
屏蔽箱深入；
光學(xué)平臺(tái)技術研究；
鍍金卡盤；
光電測試配件開展研究；
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