四探針?lè)ㄍǔS脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率創造更多。四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn),它不需要較準(zhǔn)不斷進步;有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄝ^準(zhǔn)工藝技術。
與四探針?lè)ㄏ啾龋瑐鹘y(tǒng)的二探針?lè)ǜ奖阈┮幠?,因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€(gè)探針近年來,但是處理二探針?lè)ǖ玫降臄?shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一發展目標奮鬥,電阻兩端有兩個(gè)探針接觸技術先進,每個(gè)接觸點(diǎn)既測(cè)量電阻兩端的電流值,也測(cè)量了電阻兩端的電壓值延伸。
我們希望確定所測(cè)量的電阻器的電阻值認為,總電阻值:
RT=V/I=2RW+2RC+RDUT;其中RW是導(dǎo)線電阻大數據,RC是接觸電阻長效機製,RDUT所要測(cè)量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值數字技術。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法奮戰不懈,即四探針?lè)āH鐖D二措施,電流的路徑與圖一中相同大大縮短,但是測(cè)量電壓使用的是另外兩個(gè)接觸點(diǎn)。盡管電壓計(jì)測(cè)量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓緊密相關,但由于電壓計(jì)的內(nèi)阻很大更默契了,通過(guò)電壓計(jì)的電流非常小,因此共同學習,導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計(jì)順滑地配合,測(cè)量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值深入。
通過(guò)采用四探針?lè)ㄈ〈结樂(lè)ㄐЦ?,盡管電流所走的路徑是一樣的,但由于消除掉了寄生壓降基礎,使得測(cè)量變得精que了性能。四探針?lè)ㄔ诤髞?lái),已經(jīng)變得十分普及對外開放,命名為四探針?lè)ā?/span>
Huace800高溫四探針測(cè)試儀器采用四探針雙電測(cè)量方法技術創新,適用于生產(chǎn)企業(yè)深入交流研討、高等院校、科研部門(mén)廣泛應用,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫關註度、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料哪些領域。液晶顯示敢於挑戰,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能建立和完善。采用AD芯片控制提供了遵循,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理大型、質(zhì)量輕便服務效率,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù)增持能力,自動(dòng)生成報(bào)表共同努力;本儀器可顯示電阻、電阻率服務、方阻很重要、溫度、單位換算覆蓋、溫度系數(shù)異常狀況、電流、電壓高效、探針形狀應用創新、探針間距、厚度機構、電導(dǎo)率的特性,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)基礎。
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量提供堅實支撐。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針高產、電壓探針的變換信息化技術,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析良好,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸逐步顯現、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精que度自動化裝置,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途示範。
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