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高溫四探針測試儀可以實現(xiàn)高溫使用、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺單晶（棒料密度增加、晶片）電阻率和外延層有效性、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。

那么高溫四探針測試儀的測量原理是什么呢機遇與挑戰？

測量電阻率的方法很多力量，如三探針法、電容 -電壓法提單產、擴(kuò)展電阻法等深入實施，四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，高溫四探針測試儀采用經(jīng)典直排四探針原理發展空間，同時采用了雙電測組合四探針法效果。

直排四探針法

經(jīng)典的直排四探針法測試電阻率有所應，要求使用等間距的探針，如果針間距離不等或探針有游移合作關系，就會造成實驗誤差著力提升。當(dāng)被測片較小或在大片邊緣附近測量時，要求計入電場畸變的影響進(jìn)行邊界修正傳遞。

采用雙電測組合四探針的出現(xiàn)融合，為提高薄膜電阻和體電阻率測量準(zhǔn)確度創(chuàng)造了有利條件。

目前雙電測組合（亦稱雙位組合）四探針法有三種模式：模式（1）規模最大，模式（2）穩中求進，模式（3），高溫四探針測試儀采用模式（2）最深厚的底氣，通過用計算機(jī)對三種模式的理論進(jìn)行比較研究的結(jié)果表明：對無窮大被測片三種模式都一樣協同控製，可是測量小片或大片邊緣位置時，模式（2）更好品質，它能自動消除邊界影響利用好，略優(yōu)于模式（3），更好于模式（1）解決問題。

那么高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針法有哪些優(yōu)勢呢系列？

1、采用雙電測組合四探針法進(jìn)行測試相互配合，測試結(jié)果與探針間距無關(guān)空間載體，能夠消除間距不等及針尖機(jī)械游移變化的影響，因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭相對簡便。

2重要組成部分、采用雙電測組合四探針法具有自動修正邊界效應(yīng)的功能，對小尺寸被測片或探針在較大樣品邊緣附近時合作，不需要對樣品做幾何測量勃勃生機，也不必尋找修正因子。

3極致用戶體驗、采用雙電測組合四探針法提供有力支撐，不移動四探針針頭，同時使用三種模式測量建議，即可計算得到測試部位的電阻均勻性品率。