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流程工業(yè)高純氣體案例:
純氣體生產(chǎn)或半導(dǎo)體制造等某些要求嚴(yán)苛的工業(yè)流程,需要非常精確地測量微量水分含量服務效率。
通常認(rèn)為明確相關要求,在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中才能實(shí)現(xiàn)理想測量重要意義。但是,采樣時(shí)會引入某些不確定因素深化涉外,如污染體系、平均值、管道等開展試點。在本文中攜手共進,我們將展示與在線測量相比,實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中存在哪些會造成不確定性的采樣相關(guān)因素推進一步。
人們通常認(rèn)為經過,實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度的理想方法是購買具有高規(guī)格的測量儀表。對于濕度測量而言力度,這意味著要購買分析儀類型的儀表明確了方向,因?yàn)檫@類儀表理論上準(zhǔn)確度高。然而勇探新路,相較于更堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀表單產提升,分析儀價(jià)格昂貴,且對環(huán)境的影響異常敏感試驗,因此需要特定且穩(wěn)定的使用條件勞動精神。
通常,分析儀并不直接在流程中進(jìn)行測量製度保障,而是要先行采集氣體樣本預下達,將其導(dǎo)入分析儀,然后將樣本遺棄進行部署。在所有測量中責任,氣體樣本通常都存在以下問題:
1.樣本可能無法代表實(shí)際的工藝條件應用情況。
2.樣本還可能受到采樣和分析中外部因素的影響保護好。
3.樣本可能會受到泄漏的影響,甚至成為泄漏的源頭表現。
舉例來說特點,想象要稱量一些粉末。如果在采樣和稱量之間的過程中結論,粉末被雨水打濕和諧共生,樣本將無法反映粉末的真實(shí)重量和成分。同樣技術,水氣也能輕易改變氣體樣本的濕度推廣開來,即使使用先進(jìn)的全新儀表,結(jié)果也會不準(zhǔn)確相對較高。
實(shí)驗(yàn):
為了展示該問題并研究其影響資源配置,我們構(gòu)建了一個(gè)測試裝置(如圖1所示)信息。該裝置的基本思路是保持恒定的濕度,然后通過在20°C至27°C范圍內(nèi)改變管道溫度來干擾濕度大力發展。理論上豐富內涵,這會導(dǎo)致吸附/解吸效應(yīng),從而影響排出加熱室的水氣總量產能提升。同樣適應性,在從現(xiàn)場轉(zhuǎn)至測量實(shí)驗(yàn)室的過程中,采樣管可能會暴露在室外天氣下通過活化,進(jìn)而受到溫度變化的影響落地生根。在較小的范圍內(nèi),不同的室內(nèi)溫度也可能產(chǎn)生類似的影響健康發展。實(shí)驗(yàn)過程中建設項目,氣壓保持在1 bar(a)至2 bar(a)范圍內(nèi),流速始終小于1 l/min落實落細,與分析儀的流速一致相結合。
該裝置由一臺濕度發(fā)生器、兩臺維薩拉DMT152露點(diǎn)儀表製高點項目、一個(gè)帶有6.7 m電拋光鋼管的加熱室和一臺CRDS分析儀組成為產業發展。兩臺DMT152露點(diǎn)儀表分別放置在加熱室之前和之后(圖1)。從第二臺DMT152到分析儀的管道盡可能短有所增加,以盡量降低DMT152和分析儀之間的環(huán)境影響各項要求。使用兩個(gè)溫度傳感器監(jiān)測加熱室的溫度。
結(jié)果:
在不同的壓力越來越重要的位置、流速和濕度下進(jìn)行了多次測量新技術。每次實(shí)驗(yàn)中都以相同的方式控制加熱室。(見圖2)
在圖2中順滑地配合,隨著溫度(黑色)的干擾增強(qiáng)深入,出口處的DMT152檢測到的噪聲濕度越來越多,而入口濕度在測量過程中保持恒定前沿技術。測量結(jié)束后全會精神,溫度穩(wěn)定至實(shí)驗(yàn)室溫度,兩臺DMT152儀表再次穩(wěn)定并指示相同的霜點(diǎn)溫度拓展基地。該圖清晰展示了采樣管溫度的穩(wěn)定性對輸出濕度的影響集中展示,因而會影響濕度的測量結(jié)果。
圖3繪制了另一次測量的結(jié)果體系流動性。該圖中探索創新,入口濕度不像圖2中那樣穩(wěn)定,但DMT152儀表和CRDS分析儀都呈現(xiàn)出類似的趨勢。然而新產品,在圖3中更優質,與CRDS分析儀或出口處的DMT152相比,入口濕度的噪聲要小得多推進高水平。事實(shí)上脫穎而出,出口處的濕度變化過大,以至于DMT152和CRDS分析儀都無法正確指示入口濕度生產創效,并且二者的誤差實(shí)際都超出了其規(guī)格結構。然而,此處使用的儀表功能完好優化上下,并且性能符合其規(guī)格要求能力建設,問題出在采樣管上。溫度的變化會引起吸附/解吸現(xiàn)象生產體系,從而導(dǎo)致采樣管出口的濕度發(fā)生變化服務。
該測量活動的結(jié)果表明:
1.吸附/解吸引起的最大霜點(diǎn)溫度變化超過4°C。
2.流量的影響:流量越大能力和水平,噪聲越大覆蓋。
3.溫度變化越大,管內(nèi)的吸附/解吸效應(yīng)越劇烈研究。
4.濕度越低高效,相對影響越大。
關(guān)鍵要點(diǎn):
在本文中提高,我們測試了環(huán)境對采樣的影響機構。如果測量環(huán)境或采樣不理想,可能會對測量結(jié)果產(chǎn)生重大影響交流。如圖2和圖3所示基礎,由于其在線過程測量的結(jié)果更具代表性,位于入口處的DMT152價(jià)格更加實(shí)惠形勢,且表現(xiàn)優(yōu)于價(jià)格更高的分析儀實踐者。因此,建議直接在想要關(guān)注的位置進(jìn)行測量選擇適用,并盡可能減少采樣管的使用管理。由于測量裝置和測量原理更加簡單,這種方法也具有更為顯著的成本效益業務指導。
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