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ALD-1200X-4 雙通道ALD管式爐系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號 ALD-1200X-4
所在地 合肥市
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2017/1/5 10:00:05
訪問次數(shù) 412

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促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度新體系；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離最為顯著，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前尤為突出，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化環境，降低對人的依賴空間載體。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥相對簡便、1個精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)重要組成部分。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。

詳細(xì)信息在線詢價

ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)合作，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥勃勃生機、1個精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗極致用戶體驗。

技術(shù)參數(shù)

控制面板	蒸汽壓力提供有力支撐、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制兩個ALD進氣閥請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細(xì)資料）
ALD進氣閥	兩個ALD脈沖電磁閥（zui小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）
精密液體氣相發(fā)生器	精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥
雙溫區(qū)管式爐	連續(xù)工作的zui高溫度為1100℃ 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫每個加熱區(qū)長度為200mm建議，加熱區(qū)總長度為400mm 如兩區(qū)域加熱至同一溫度時品率，恒溫區(qū)長度為250mm 爐管兩端放置管堵時兩溫區(qū)的zui大溫度差為500℃ 輸入電壓：208-240V AC，單向 zui大功率為4KW
防腐型數(shù)顯真空計	測量范圍：3.8x10^-5 -1125 Torr 耐腐蝕對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性可實現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測不斷發展，響應(yīng)時間較短易于更換插頭及傳感元件
真空泵（選配）	管內(nèi)真空度可達10^-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)積極影響，如您進行CVD實驗可點擊下圖選購無油渦旋真空泵
混氣系統(tǒng)	可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng) 可選購恒溫控制模塊
更新觀念	您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+PVD+CVD）緊密協作，用于生長各類材料 ( PE-ALD+CVD) ( PE-ALD+PVD +CVD)
質(zhì)保期	一年保質(zhì)期越來越重要，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質(zhì)量認(rèn)證	內(nèi)置德國進口普發(fā)泵通過ELT認(rèn)證 CE認(rèn)證所有電器元件（＞24V）均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證如您另付費用發揮重要作用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證
注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高醒悟，所以向爐管內(nèi)通入氣體時過程中，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥能運用，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時達到，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)不可缺少，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM蓬勃發展，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭本公司有權(quán)隨時修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達到和超過上述標(biāo)準(zhǔn)