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超高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) LEGEX系列0.28µm

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三坐標(biāo)測(cè)量儀

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初項(xiàng)0.28µm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)LEGEX系列
 
LEGEX系列為初項(xiàng)0.28µm的高精度CNC坐標(biāo)測(cè)量機(jī)高效化,對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或地降低其影響製高點項目。
本體底座部分嚴(yán)選材料,采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性範圍和領域、高衰減性有所增加。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析,保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度更高要求,使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至最小越來越重要的位置。此外新技術,還引入了各種技術(shù)來實(shí)現(xiàn)超高精度,如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策等順滑地配合。
用于位置檢測(cè)的長度測(cè)量單元配備了超高精度測(cè)量單元(自社開發(fā))深入,該單元采用熱膨脹系數(shù)為0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合前沿技術,具有的位置檢測(cè)能力基礎,可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。
提供豐富的選件多種方式,包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測(cè)頭對外開放,數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。

規(guī)格

號(hào)

項(xiàng)

LEGEX 574

LEGEX 774

LEGEX 776

LEGEX 9106

LEGEX 12128*

測(cè)量范

X

500mm

700mm

700mm

900mm

1200mm

Y

700mm

700mm

700mm

1000mm

1200mm

Z

450mm

450mm

600mm

600mm

800mm

 

LEGEX系列主機(jī)精度

 

使用測(cè)

允許長度測(cè)量誤差

ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)

MPP310Q

E0,MPE=0.28+L/1000*

 


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