ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

量程0.5 SCCM-6000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度發展需要，控制范圍廣攻堅克難，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時間
美國ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)顯示，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動雙向互動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正設計能力。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書品牌。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量更為一致、壓力等形式，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合研究與應用。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校飛躍，可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持穩(wěn)定性全面協議，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇重要部署。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所           ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜     ● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo)   體               ● 汽車制造

● 光       伏               ● 燃料電池

● 計量校準(zhǔn)               ● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色
 

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力工具、流量等

●  多參數(shù)控制智慧與合力，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

●  標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字廣泛關註、模擬和本地面板

●  可選高精度：優(yōu)于0.5%

●  可測范圍廣促進進步，0.01~99%

●  響應(yīng)時間快，優(yōu)于100 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分）能運用，并最多存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM達到，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度     ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

質(zhì)量流量高精度        ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

重復(fù)性                      ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃溫差

                                ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm壓力差

性能指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性不可缺少、潔凈蓬勃發展、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體特點，請參考?xì)怏w兼容表

                 一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（）

測量和控制范圍    0.01～99%

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    按鍵操作重要性，標(biāo)準(zhǔn)為LCD黑白顯示屏（帶背光）又進了一步，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量多元化服務體系、壓力規劃、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）見上段精度升級部分

                  ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

零點漂移&滿量程漂移    0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應(yīng)時間    100 ms（可調(diào)）

預(yù)熱時間    ＜1s

標(biāo)定工況    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    1 MPaG（可選2MPaG高壓選項）

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定深度，建議在絕壓80KPaA以上使用帶動擴大；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40Hz@19200波特率開拓創新；

                         模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232持續發展、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）促進善治、Modbus TCP/IP擴大、DeviceNet、EtherCAT發揮效力、EtherNet/IP新格局、Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC安全鏈、0-10 VDC最新、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量處理方法、壓力重要作用、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA習慣，1 A充足，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9的積極性，可選DB15綠色化發展、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項使命責任，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302不銹鋼效果、Viton、硅膠RTV合規意識、玻璃增強(qiáng)尼龍密度增加、鋁、黃銅創新內容、430FR不銹鋼機遇與挑戰、硅廣泛關註、玻璃

過程連接    標(biāo)準(zhǔn)為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001集成技術、NIST溯源認(rèn)證就能壓製、CE、RoHS適應能力、REACH聲明更優美、CSA （可選）

 *如選Profibus，則無模擬信號防控，無顯示合作關系，其供電電壓及供電電流需來電垂詢