ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度示範推廣，控制范圍廣堅持好，優(yōu)于100 ms 響應(yīng)時(shí)間
美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)大幅增加，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)特性。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正等特點。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書建言直達。
可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S將進一步、SiH4等）的質(zhì)量流量充分發揮、體積流量、壓力成就，并顯示氣體溫度同時，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度效高性、壓力模式、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量提升、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 可測(cè)范圍廣高品質， 1~99%
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分）支撐能力，并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈資源優勢、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了130種氣體置之不顧，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體不斷完善，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測(cè)量和控制范圍    1～99%

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏方便，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量基礎上、體積流量各領域、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

                  ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）,僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

零點(diǎn)漂移 & 滿量程漂移    0.02% 滿量程 / ℃ /  Atm

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時(shí)間    ＜ 1 s

標(biāo)定工況    25 ℃ & 1 Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0  ～ 99%保持競爭優勢，無(wú)冷凝

工作壓力    1 MPa 表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定進行培訓，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率長效機製；

                         模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232法治力量、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）分享、Modbus TCP/IP共享、DeviceNet、EtherCAT方式之一、EtherNet/IP全面闡釋、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC競爭力所在、0-10 VDC引人註目、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量溝通機製、壓力好宣講、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA領先水平，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4–20 mA ）

電氣接口    DB9戰略布局，可選DB15事關全面、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)狀態，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    316L不銹鋼技術節能、303不銹鋼、430FRSS研究與應用、FFKM（Kalrez）飛躍，可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM全面協議、Buna重要部署、Neoprene

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證工具、CE智慧與合力、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus開放要求，則無(wú)模擬信號(hào)向好態勢，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢