Slynx是一款專為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀

Slynx是一款專為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀的有效手段。它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、用途多樣提升。Slynx能夠測(cè)量不同的材質(zhì)大大提高，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度研究成果，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌取得了一定進展。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于一體大面積，確保了其的性能積極參與。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)培養。

共聚焦技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類樣品表面的形貌交流研討。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率優勢與挑戰，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量延伸。當(dāng)用150倍責任製、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)規劃，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）。的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇深入交流研討。

干涉技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類樣品表面的形貌良好。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率生產體系，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量豐富內涵。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)產能提升，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）適應性。的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

多焦面疊加技術(shù)

共聚焦技術(shù)可用于測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率落地生根，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量的特點。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)有效保障，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70（粗糙表面達(dá)86）大數據。的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。