測(cè)量項(xiàng)目

點(diǎn)能力建設、直線關註、圓、部分圓創新內容、橢圓機遇與挑戰、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距善於監督、圓心到直線的距離集成技術、交點(diǎn)到圓心的距離等）、點(diǎn)更合理、點(diǎn)適應能力、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角各方面、直線夾角）防控、直線度、槽深適應性、槽寬堅實基礎、溝邊距、溝心距重要作用、水平距等地、凸度（對(duì)數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)

測(cè)量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

220mm

Z1軸（傳感器）

40mm

Z軸（立柱）

500mm

測(cè)量精度

X軸

(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離)

±(1.2+L/100)μm

Z1軸

(H=Z1軸方向測(cè)量高度)

±(1.5+3H/100)μm

X軸水平臂

直線度

1.5μm/200mm

光柵分辨率

0.1μm

光柵產(chǎn)地

進(jìn)口

Z1軸傳感器

分辨率

0.05μm

傳感器類型

光柵傳感器

產(chǎn)地

進(jìn)口

移動(dòng)方向

前/后 雙方向

測(cè)力

0.5-6g

測(cè)針針尖

硬質(zhì)合金 R：0.05mm尤為突出、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

測(cè)量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

定位速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

圖形放大/縮小

圖形放大

可任意縮小規定、放大

綜合調(diào)整臺(tái)

綜合調(diào)整臺(tái)

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

安裝要求

電源

220-240V  AC, 50HZ，單獨(dú)地線空間載體；功率消耗450W

壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP高質量，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）經驗分享；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露）解決方案，良好地線趨勢，無(wú)明顯振源