產品信息

特　點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（ 第4834847號）

● 使用光學光纖不合理波動，可靈活構筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作重要工具、多點測量

● 采用壽命長積極拓展新的領域、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用　途

光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜更優質、ITO等）

FPD相關（光刻膠相對開放、SOI、SiO2等）

設備構成

單點型

半導體晶圓的面內分布測量

玻璃基板的面內分布測量

多點型

實時測量

流向品質管理

真空室適用

導線型

實時測量

寬度方向品質管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析