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KSI V300E 高精度掃描聲學(xué)顯微鏡

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市順心科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) KSIV300E
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2023/12/3 20:30:10
  • 訪問次數(shù) 113

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KSI V300E是一款高產(chǎn)能超聲波聲學(xué)顯微鏡配套設備,可以對(duì)塑封集成電路IC、IGBT大功率模組相對開放,各型電容推進高水平、以及銅基板器件進(jìn)行無損檢測(cè),分析器件內(nèi)部之分層拓展應用、裂縫生產創效、空洞等缺陷。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

KSI介紹

      KSI 品牌是由德國(guó)的 Klaus Kraemer 博士所創(chuàng)立管理,Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學(xué)顯微技術(shù)的優化上下,從 1984 年開始一直到現(xiàn)在,近 30 年來模樣,不斷推進(jìn)高分辨 聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)的創(chuàng)新生產體系,為半導(dǎo)體、復(fù)合材料很重要、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域參與水平,提供聲學(xué)檢測(cè)裝備和訂制化的技術(shù)解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)歷史的活化石服務效率。

      KSI 公司一直專注于聲學(xué)顯微基礎(chǔ)技術(shù)的研究與開發(fā)明確相關要求,目標(biāo)是朝更高精度重要意義、更高分辨率、更大的產(chǎn)能深化涉外、設(shè)備更加體系、更加耐用方向發(fā)展。這也非常符合德國(guó) 人作風(fēng)參與能力,專注合理需求、專業(yè)、一輩子只做好一件事充分發揮。 2009 年開發(fā)的 FCT 低噪探頭技術(shù)高質量,能極大地壓制探頭在水中運(yùn)動(dòng)掃描時(shí)所產(chǎn)生的水花,顯著提高聲學(xué)圖像的品質(zhì)選擇適用,并使設(shè)備能夠持續(xù)在高速狀態(tài)下進(jìn)行工作管理, 而不會(huì)由于巨大的水花而導(dǎo)致對(duì)測(cè)試結(jié)果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學(xué)顯微系統(tǒng)業務指導,靈敏度可以達(dá)到 0.3 微米改進措施。在噪聲控制、弱信號(hào)處理技術(shù)更上一個(gè)新臺(tái)階長足發展,不需要外置濾波器即可對(duì)晶 圓級(jí)的缺陷進(jìn)行高分辨檢測(cè)今年,既讓圖像更清晰,又不遺漏微缺陷結構不合理。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)上取得的進(jìn)展動手能力。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 掃描范圍適中:300mm x 300mm;

  • 磁懸浮超高速機(jī)型意見征詢;

  • 掃描速度:2米/秒提升;

  • 掃描加速度:30米/秒

  • KSI一臺(tái)機(jī)器相當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺(tái)的工作量示範。(常規(guī)機(jī)器小于1米/秒)應用前景;

  • 高掃描重復(fù)精度:+/-0.1微米(常規(guī)機(jī)器只能做到0.5微米)

  • 低噪防誤判探頭(常規(guī)機(jī)器沒有運行好,無法在高速掃描時(shí)去除水花導(dǎo)致的誤判)首次。

技術(shù)指標(biāo)

一、掃描機(jī)械機(jī)構(gòu) 

(1) X部署安排、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

(2) X搖籃、Y軸一次掃描行程范圍:300mm×300mm(上限可以做到305mm x 305mm

(3) XY軸一次最小掃描行程范圍:0.2mm×0.2mm

(4) 掃描速率:2000mm/s推廣開來,掃描加速度30m/s2

(5) X推動、Y軸掃描重復(fù)精度±0.1um

(6) Z軸是高精度自鎖步進(jìn)電機(jī),行程:100mm

(7) Z軸電機(jī)重復(fù)精度:± 0.25μm

二、 掃描模式

(1) 點(diǎn)波形(A-Scan)

(2) 縱剖掃描(B-Scan)

(3) 橫剖掃描(C-Scan)

(4) 斜剖掃描(D-Scan)

(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)

(6) 自定義多層橫剖掃描信息,可獨(dú)立設(shè)置不同層面的厚度等參數(shù)

(7) 透射掃描

(8) 順序掃描大幅增加、托盤掃描、高質(zhì)量掃描傳承、表面跟蹤掃描等特點、全息掃描(實(shí)體掃描)

(9) 其它 

三、 脈沖信號(hào)收發(fā)器和換能器

(1) 掃描工作模式:?jiǎn)瓮ǖ拦ぷ髂J?/span>

(2) 脈沖信號(hào)收發(fā)器帶寬:5MHz~550MHz

(3) 總增益:150dB 

四多種、 主要功能

(1) 測(cè)試被測(cè)工件內(nèi)部缺陷將進一步,如空洞、分層發展成就、裂縫成就、異物等;

(2) 掃描圖像模板功能開展面對面,輕松獲得參數(shù)一致的聲學(xué)顯微圖像系統;

五、 其它指標(biāo)

(1) 保存圖像格式:JPG自動化、BMP提升、SAM(sam是原廠圖像格式)高品質;

(2) 圖像采樣像素:32000×32000像素 不折不扣,可以自定義輸入圖像分辨率或單個(gè)像素尺寸,由設(shè)備自動(dòng)計(jì)算所用的圖像分辨率資源優勢。

image.png

選配組件
序號(hào)

名稱

部件編號(hào)

說明

選配請(qǐng)打v

1

透射掃描模組

TT-kit

含透射接收探頭一個(gè)高效利用、透射樣品臺(tái)、其它透射結(jié)構(gòu)件


2

Jedec樣品架

Jedec Tray

Jedec Tray


3

晶圓樣品臺(tái)

Wafer Chunk

Samplestage with wafer chuck


4

真空吸盤樣品臺(tái)

Universal Vacuum sample stage

Universal Vacuum-Sample-Stage, incl:

-Vacuum Pump21qm/h

-Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables


5

三維超聲CT成像軟件

KSI 4D software

-Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis

-Overview of all layers in extra window


6

高分辨濾波器

HTE

Hilbert Transformation Envelope


7

常規(guī)探頭

5MHz

conventional probe with different focal length


8

常規(guī)探頭

15MHz

conventional probe with different focal length


9

常規(guī)探頭

20MHz

conventional probe with different focal length


10

常規(guī)探頭

30MHz

conventional probe with different focal length


11

常規(guī)探頭

40MHz

conventional probe with different focal length


12

常規(guī)探頭

50MHz

conventional probe with different focal length


13

常規(guī)探頭

75MHz

conventional probe with different focal length


14

常規(guī)探頭

100MHz

conventional probe with different focal length


15

常規(guī)探頭

110MHz

conventional probe with different focal length


16

常規(guī)探頭

125MHz

conventional probe with different focal length


17

常規(guī)探頭

150MHz

conventional probe with different focal length


18

常規(guī)探頭

230MHz

conventional probe with different focal length


19

低噪探頭

300MHz

conventional probe with different focal length


20

低噪探頭

320MHz

conventional probe with different focal length


21

聲學(xué)物透探頭

200MHz

Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle


22

聲學(xué)物透探頭

400MHz

Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle



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