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Kaleo MultiWAVE多波長動態(tài)干涉儀

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KALEOMultiWAVE多波長動態(tài)【KALEOMultiWAVE簡介】在光學(xué)計量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新推動,推出能夠兼顧測量透射誤差和反射波前誤差(TWE/RWE)的革命性新產(chǎn)品:KaleoMultiWAVE動態(tài)干涉儀

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KALEO MultiWAVE 多波長動態(tài)


【KALEO MultiWAVE 簡介

在光學(xué)計量領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新相對較高,推出能夠兼顧測量透射誤差反射波前誤差(TWE / RWE)的革命性新產(chǎn)品:Kaleo MultiWAVE動態(tài)干涉儀。 直徑高至5.1英寸(130毫米)的鍍膜和未鍍膜的光學(xué)器件可在其工作波長下直接進行測量信息。 Kaleo MultiWAVE是購買多臺干涉儀或特殊波長干涉儀的有效替代方案相關,擁有性價比。 該系統(tǒng)同時可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度豐富內涵,及動態(tài)干涉儀的抗震性能生產效率。


【關(guān)于Phasics】

是一家專注于高分辨率傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗與的波前測量技術(shù)為客戶提供全面的高性能適應性。


 一節點、 KALEO MultiWAVE 主要特點


  • 紫外、可見光落地生根、近紅外支撐作用、短波紅外、中遠紅外等任意多波長定制

  • 單臺干涉儀可集成多個工作波長

  • 納米級相位分辨率

  • 超高動態(tài)范圍 (>500 條紋數(shù))


二建設項目、KALEO MultiWAVE 應(yīng)


  • 光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計量


三、KALEO MultiWAVE 測量案例


四落實落細、KALEO MultiWAVE 指標參數(shù)(1)


RMS重復(fù)性 (2)< 0.7="" nm="">< λ="">
測量精度80 nm PV (3)
動態(tài)范圍(離焦值)500 fringes (SFE = 150 μm)
可測反射率范圍4% - 99%

(1) 四英寸口徑相結合,使用625 nm光源

(2) 在4英寸參考鏡上執(zhí)行36次連續(xù)測量,每一次測量使用均化值為16次製高點項目。 參考定義為所有奇數(shù)測量的平均值為產業發展。 RMS重復(fù)性定義為RMS平均差值,加上偶數(shù)測量值與參考之間差值的標準偏差的2倍有所增加。

(3) 1 µm PV 離焦像差下



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