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Keithley吉時(shí)利 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS

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使用吉時(shí)利4200A-SCS參數(shù)分析儀(參數(shù)測試儀) 加快各類材料更多的合作機會、半導(dǎo)體器件和先進(jìn)工藝的開發(fā),完成制程控制認為、可靠性分析和故障分析服務好。 4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能電學(xué)特性半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測試(IV曲線測試)反應能力、電容電壓曲線測試(CV曲線測試)和超快脈沖IV曲線測量發展邏輯。


直流電流-電壓(I-V) 范圍

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
 

電容-電壓(C-V) 范圍

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
 

脈沖 I-V范圍

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s有所提升,5 ns 采樣率

 

Keithley吉時(shí)利 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS主要性能指標(biāo)

I-V 源測量單元(SMU)

  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
  • 100 fA測量分辨率
  • 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
  • 100 μF負(fù)載電容
  • 四象限操作
  • 2 線或 4 線連接


C-V 多頻率電容單元(CVU)

  • AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
  • ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
  • 選配 CVIV 多通道開關(guān)新的力量,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
  • 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
  • 200 MSa/s先進水平,5 ns 采樣率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬態(tài)波形捕獲模式
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式全面展示,支持多電平脈沖波形重要平臺,10 ns 可編程分辨率


高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

  • 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式核心技術,支持多電平脈沖波形應用提升,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
  • 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針
  • 把 C-V測量移動(dòng)到任意端子創造性,無需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
  • 在 I-V 測量發展的關鍵、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動(dòng)切換
  • 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
  • 降低電纜電容效應(yīng)




 

參數(shù)查看,快速清晰規模設備。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀從設(shè)置到運(yùn)行檢定測試的時(shí)間減少高達(dá) 50%真諦所在,從而實(shí)現(xiàn)的測量和分析能力。此外競爭力,嵌入式測量專業(yè)知識(shí)提供的測試指導(dǎo)充分,并讓您對(duì)最終結(jié)果充滿信息。

特點(diǎn)

  • 用于 DC IV集聚、CV 和脈沖 IV 測量類型的高級(jí)測量硬件
  • 立即使用 Clarius 軟件中所含的數(shù)百種用戶可修改應(yīng)用程序測試開始測試
  • 自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取關註度、數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

準(zhǔn)確的 C-V 表征

使用吉時(shí)利的電容-電壓單元 (CVU) 4215-CVU 測量一位數(shù)飛法哪些領域。通過將 1 V AC 電源集成到吉時(shí)利行業(yè)的 CVU 架構(gòu)中敢於挑戰,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進(jìn)行低噪聲電容測量。

特點(diǎn)

  • 同類產(chǎn)品中能夠驅(qū)動(dòng)1 V AC 電源電壓的 CV 表
  • 1 kHz 頻率積極,分辨率從1 kHz 到 10 MHz
  • 測量電容探索、電導(dǎo)和導(dǎo)納
  • 使用 4200A-CVIV 多路開關(guān)最多可測量四個(gè)通道

 

測量堅持先行、 切換、 重復(fù)滿意度。

4200A-CVIV 多通道切換模塊自動(dòng)在 I-V 和 C-V 測量之間切換情況較常見,無需重新布線或抬起探頭端部。 與競爭產(chǎn)品不同主要抓手,四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看體製,可快速完成測試設(shè)置,并在出現(xiàn)意想不到的結(jié)果時(shí)輕松排除故障創新科技。

特點(diǎn)

  • 無需重新布線即可將 C-V 測量移動(dòng)到任何設(shè)備終端
  • 用戶可配置低電流功能
  • 個(gè)性化輸出通道名稱
  • 查看實(shí)時(shí)測試狀態(tài)

穩(wěn)定的低電流測量服務延伸,適用于 I-V 檢定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊,您可以在高電容系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低電流測量具有重要意義。4200A-SCS 有四種型號(hào)的源測量單位 (SMU) 可供選擇進一步,可通過定制滿足您所有的 I-V 測量需求。通過提供現(xiàn)場可安裝單元和可選的預(yù)放大器模塊強大的功能,Keithley 可確保您獲得最準(zhǔn)確的低電流測量實際需求,而停機(jī)時(shí)間很少甚至沒有。

特點(diǎn)

  • 不必將儀器送回工廠即可增加 SMU
  • 進(jìn)行 飛安測量
  • 多達(dá) 9 個(gè) SMU 通道
  • 針對(duì)長電纜或大卡盤進(jìn)行了優(yōu)化

帶分析探測器和低溫控制器的集成解決方案

4200A-SCS 參數(shù)分析儀支持許多手動(dòng)和半自動(dòng)晶片探測器和低溫控制器優勢,包括 MPI Cascade MicroTech善謀新篇、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator便利性、Wentworth Laboratories方法、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特點(diǎn)

  • “點(diǎn)擊”測試定序
  • “手動(dòng)”探測器模式測試探測器功能
  • 假探測器模式無需移除命令即可實(shí)現(xiàn)調(diào)試


 


 


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