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UL5000

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好處

  • HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能夠快速達(dá)到測試條件無障礙。
  • I-CAL (Inligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) 確保對所有測試范圍內(nèi)的泄漏做出快速響應(yīng)。
  • 特殊的多進(jìn)口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供氦氣泵速和高氦氣壓縮率快速融入,從而提供靈敏度認為、快速響應(yīng)和清洗。
  • 前置渦輪分子泵可以對任何測試對象(包括大容量和大腔室)提供極其快速的響應(yīng)增強。
  • 經(jīng)過領(lǐng)域驗證的 INFICON 扇形磁場質(zhì)譜儀采用*重要意義、免維護(hù)設(shè)計,歷經(jīng)數(shù)年仍可提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果更加廣闊。
  • 自我保護(hù)功能可保護(hù) UL5000 免受氦氣和粒子污染規劃,甚至還設(shè)有自動沖凈周期,確保 UL5000 隨時可用可以使用。
  • 旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制接口和可選遠(yuǎn)程手動控制器提供操作靈活性進入當下。
  • 可通過軟件啟用對裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制,從而阻止未經(jīng)*地使用或意外修改測試設(shè)定稍有不慎。
  • 通過電子郵件升級軟件重要作用,確保您的 UL5000 始終處于工作狀態(tài)。
  • 新型工作站設(shè)計最為顯著,帶有高度的工作臺面尤為突出,并且配備有防靜電臺墊和工具箱,便于測試穩定。

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體和平板顯示器工具上測試元件改造層面、部件和大型腔室泄漏測試
  • 半導(dǎo)體和平板工具泄漏測試
  • 航空元件供給、部件和系統(tǒng)泄漏測試
  • 儲存容器/儲罐的泄漏測試

規(guī)格

類型 UL5000 Helium Leak Detector
氦氣(真空模式)低可檢漏率 mbar?L/s

< 5="" •="">-12

氦氣(吸式)低可檢漏率 mbar?L/s 8E-8
GROSS 模式大進(jìn)氣口壓力 mbar 15
FINE 模式大進(jìn)氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式大進(jìn)氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max 8
FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s max 20
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s >20
可檢測質(zhì)量數(shù) 2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場 180 °C
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內(nèi)置校準(zhǔn)測試漏孔 E-7
測試端口 DN40KF
可調(diào)觸發(fā)器 2
接口 RS232
圖形記錄器輸出 2 x10 V
輸入/輸出 PLC compatible
允許的環(huán)境溫度(操作過程中) °C +10...+40
重量 140
尺寸(長x寬x高) 1068x530x1083
電源電壓 230(+-10%)50Hz
功耗 VA 1100

零件號

UL5000 Helium Leak Detector
零件號 明細(xì)
550-500A ULTRATEST UL5000, 230V, 50Hz, EU
550-501A ULTRATEST UL5000, 100/115V, 50/60Hz, US

附件

UL5000 Helium Leak Detector
零件號 明細(xì)
14005 SL200優勢與挑戰,UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭,4 米長
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-010 遙控器 RC1000C解決方案,有線趨勢,帶 4 米卷線
551-015 遙控器 RC1000WL,無線,包括無線發(fā)射機
551-020 RC1000WL 用無線發(fā)射機

備件

UL5000 Helium Leak Detector
零件號 明細(xì)
200000568 Operating unit UL1000/UL1000Fab/UL5000
200000578 PCB I/O
200000579 Device connector, mains input, cpl.
200000600 System comp. Electr. input UL1000/5000
200000602 System c. Power unit UL1000/Fab UL5000
200000685 Replacement filter cell UL1000/5000
200001081 Subassassembly Detection Module U5
200001082 Subassembly Booster Pump U5
200001665 Scroll head for scroll pump TS620
200002806 LP.CPU MC68 opt.Analog outputs
200003801 Oil wick cartridge HiPace 50/80
Fan
MSV-1電源板
SPIRAL CABLE
Spare part Sound absorber 3/4"
551-015R Remote Control RC1000WL, Refurbished
85904 NT12 for UL5000- use 200001294

數(shù)據(jù)表

手冊

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