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SKY CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar

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好處

  • 擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%供給,節(jié)能的方法,低功耗
  • 易于集成,各種滿刻度進行探討、法蘭和接口落到實處,標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令,可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)最新、加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
  • 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性技術創新,即使是嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用,都無需*執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN持續向好、UL習慣、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 蝕刻進展情況、CVD的積極性、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
  • 需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過程

新聞

現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口

規(guī)格

類型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.4 0.4
溫度效應(yīng)    
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005
滿量程 % of reading / °C 0.02 0.02
壓力至關重要,大 kPa (absolute) 400 260
分辨率 percent FS 0.003 0.003
低讀數(shù) percent FS 0.01 0.01
建議的低讀數(shù) percent FS 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5
溫度    
運(yùn)行(室內(nèi)環(huán)境)(4) °C +10 … +50  
在法蘭處烘烤 °C ≤200 ≤200
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
功耗    
加熱時(shí) W ≤25 ≤25
運(yùn)行溫度 W ≤18 ≤18
輸出信號(hào)(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30
保護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)    
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) SEMI S2 SEMI S2
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
設(shè)定點(diǎn)    
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn) ≤30 ≤30
滯后 percent FS 1 1
診斷端口    
協(xié)議 RS232-C RS232-C
讀數(shù) pressure, status, ID pressure, status, ID
設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
內(nèi)部容積    
內(nèi)部容積 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
協(xié)議 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
過程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT 連接器 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2
DeviceNet™    
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設(shè)備類型 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊 polling only polling only
真空計(jì) D 型連接器的電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓 24 V nom / <2 w="" (11="" …="" 25=""> 24 V nom / <2 w="" (11="" …="" 25="">
DeviceNet™ 連接器 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG(模擬輸出不久前、CDG 電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP    
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG(模擬輸出提升行動、電源電壓能力建設、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 非線性,遲滯研究進展,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性無障礙,2 小時(shí)工作后無溫度影響。 

(2) 提高 10 … 90 % FS 

(3) 18% 鉻力量,10% 鎳我有所應,3% 鉬,69% 鐵

(4) 環(huán)境溫度 > 40°C 可能會(huì)使表面溫度升高到 SEMI S2 合規(guī)水平以上深入實施。

CDG200D Sky PIM Ordering Information.png

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

手冊(cè)

三維步驟文件

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