稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM充分發揮；4路校準氣入口和1路吹掃口選擇適用；1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口設計；55個按鍵薄膜鍵盤業務指導；24位數(shù)字輸入/輸出，2路串行通訊輸出就此掀開，RS232輸出長足發展；大而明亮的彩色顯示器今年；外部PC鍵盤接入端口；并行打印端口結構不合理；空氣源控制端口動手能力。

儀器特點：

稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；

源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM意見征詢；

4路校準氣入口和1路吹掃口引領；

1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口示範；

55個按鍵薄膜鍵盤應用前景；

24位數(shù)字輸入/輸出，

2路串行通訊輸出運行好，RS232輸出首次；

大而明亮的彩色顯示器；

外部PC鍵盤接入端口部署安排；

并行打印端口搖籃；

空氣源控制端口。

性能參數(shù)：

稀釋入口：1路標準推廣開來；

源氣入口：4路標準標準，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）堅持好；

源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM即將展開；

流量精度：≤±1%FS；

流量重復：≤±0.15%FS特性；

線    性：≤±0.5%FS傳承；

入口壓力：20-35 PSIG；

內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm建言直達；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb多種；

流量：100±1 SCCM；

紫外燈溫度：50±0.1℃充分發揮。

內(nèi)置紫外吸收光度計參數(shù)：

量程：0-0.5發展成就，1.0，2.0ppm重要方式；

線性：±1ppb或±1%FS開展面對面；

精度：±1ppb；

零點漂移：<±1ppb/24小時或30天模式；

流速：1.0 LPM自動化；

模擬輸出：0-0.1/1/5V提升。

內(nèi)置稀釋爐參數(shù)：

材質(zhì)：玻璃或特氟龍高品質；

尺寸：1個稀釋管不折不扣；

可調(diào)溫度：高于環(huán)境溫度5度到65度；

溫度精度：<±0.1℃資源優勢；

操作：55個按鍵高效利用，鍵盤或串行端口；

校準定義：20個工廠定義流路估算；

校準類型：氣體稀釋講理論，臭氧，GPT不要畏懼；

氣體定義：2個稀釋氣服務為一體，20個源氣；

自動校準：20個程序驅(qū)動定時逐漸顯現，

          7天事件全會精神，用戶可自定義；

數(shù)字輸入/輸出：24位標準輸出拓展基地；

輸出類型：觸點觸發(fā)或TTL邏輯法治力量；

通訊：RS232，或以太網(wǎng)TCP/IP分享。