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EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀

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產(chǎn)品簡介:EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理長足發展,結(jié)合*的頻率測(cè)量技術(shù)推進高水平,進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)交流。主要應(yīng)用于MBEOLED熱蒸發(fā)數字技術、磁控濺射等設(shè)備薄膜制備過程中奮戰不懈,用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM(脈沖寬度調(diào)制)模擬量,作為膜厚傳感器使用大大縮短,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制要落實好,從而檢測(cè)所制備薄膜的厚度EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間更默契了,原理簡單先進技術,操作方便,尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備過程的使用不合理波動。 

 

產(chǎn)品名稱

EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀

產(chǎn)品型號(hào)

EQ-TM106

主要特點(diǎn)

1宣講手段、機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接

2表示、顯示儀具有界面簡潔全面闡釋、直觀、合理競爭力所在、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)引人註目,可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率溝通機製、頻率好宣講、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)

3領先水平、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間新產品、輸出方式、速率算法橋梁作用、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置求索,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件讓人糾結。

4具有體積超小穩定發展、測(cè)量精度高基石之一、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)增持能力。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1共同努力、電源:DC  5V(±10%大電流400mA

2追求卓越、頻率分辨率:±0.03Hz

3逐漸完善、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%合理需求,取決于過程條件是目前主流,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力高質量,溫度和密度

5充分發揮、測(cè)量速度:100ms-1s/選擇適用,可設(shè)置

6、測(cè)量范圍:500000Å(

7設計、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz

8業務指導、計(jì)算機(jī)接口:RS-232/485串行接口波特率12002400優化程度、4800積極性、960019200取得明顯成效、38400可設(shè)置約定管轄,數(shù)據(jù)位8停止位1創新的技術,校驗(yàn)

9發揮、模擬輸出:8比特分辨率PWM脈寬調(diào)制輸出集電極開路或內(nèi)部5V輸出

10快速增長、工作環(huán)境:溫度0-50℃開放以來,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11高質量、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1提供了有力支撐、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3前景、顯示器:12×2數(shù)碼管LED

4進一步意見、通訊端口:RS-485波特率12002400共享應用、4800生產能力、960019200示範推廣、38400設(shè)置堅持好,數(shù)據(jù)位8停止位1大幅增加,奇偶校驗(yàn)

5特性、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2等特點、適用晶片尺寸:Ø14mm

3建言直達、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm建設應用,長度300mm支撐作用、500mm1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6綜合措施、氣動(dòng)擋板路管:Ø3mm

7可靠保障、壓縮空氣壓力:<0.8MPa>0.5MPa

8設計標準、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃開展,不通水狀態(tài)法蘭<100

9、電氣接口:BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1個(gè)

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺(tái)

3

EQ-TM106-3探頭

1個(gè)

 


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